Dahaarka CVD Silicon Carbide (SiC)

Dahaarka CVD SiC asal ahaan waa lakab silikoon ah oo lagu shubo graphite, waxaana si weyn loogu isticmaalaa qalabka epitaxy halkaas oo heerkulka iyo nadaafaddu labaduba muhiim yihiin. Khadadka wax soo saarka dhabta ah, waxaad inta badan ku arki doontaa nidaamyada AIXTRON, ASM/LPE, Veeco, iyo sidoo kale qaar ka mid ah goobaha la xiriira AMAT. Waxa ka dhigaya mid faa'iido leh ma aha oo kaliya iska caabbinta heerkulka, laakiin xasilloonida guud inta lagu jiro socodka dheer. Xaaladaha epitaxy caadiga ah - haydarojiin, ammonia, ama xitaa gaasaska koloriinaysan - dahaarka wuxuu ahaanayaa mid deggan wuxuuna ilaaliyaa garaafka hoose. Taasi waxay ka caawisaa inay goobta kuleylka ka dhigto mid joogto ah waxayna yareysaa fursadda walxaha soo muuqda inta lagu jiro koritaanka.

Inta badan, dahaarka waxaa lagu daboolaa qaybaha sida susceptors, sideyaasha wafer, giraanta graphite, ama qaybaha nus-moon. Kuwaas dhammaantood si toos ah ayay ugu lug leeyihiin kuleylinta wafer ama meelaynta, sidaa darteed xasillooni darro kasta oo yar waxay saameyn kartaa wax soo saarka. Sababtaas awgeed, qaybaha dahaarka leh waxaa badanaa loola dhaqmaa sidii waxyaabo la isticmaalo oo wali u baahan in la isku halleyn karo wareegyo badan, gaar ahaan wax soo saarka 4 ilaa 12 inji.