Susceptor-ka Graphite-ka ee CVD SiC ee loogu talagalay MOCVD

Warshadaha maanta ee isku-dhafka ah ee semiconductor-ka, qalabka MOCVD si ka adag sidii hore ayaa loo riixay. Cufnaanta awoodda sare, joomatariyada qalabka oo adag, iyo bartilmaameedyada wax-soo-saarka oo sii adkaanaya waxay ka dhigan yihiin in qayb kasta oo la isticmaalo ay tahay inay si saadaalin leh u shaqeyso, wareeg wareeg ka dib. Kuwaas waxaa ka mid ah, susceptiter-ka graphite badanaa waa la iska indhatiraa - laakiin waxaa la dhihi karaa waa qaybta kaliya ee si toos ah u qaabeysa isku-midnimada heerkulka wafer-ka, isku-dheellitirka tayada lakabka, iyo hufnaanta guud ee wax-soo-saarka.

Waa halkaas meesha suuska dahaarka leh ee Semixlab uu ka soo galo. Waxaan ku bilownaa isostatic graphite saafi ah oo sarreeya, ka dibna waxaan marinaa lakab silicon carbide ah oo cufan iyada oo loo marayo kaydinta uumiga kiimikada. Natiijadu waa qayb u adkaysata kiimikada epi ee adag, waxay bixisaa wareejin kulayl oo la isku halleyn karo, waxayna daadisaa wax walxo ah - xitaa ka dib boqolaal socod. Waa doorasho la xaqiijiyay oo lagu beero GaN, SiC, AlN, AlGaN, iyo agabyada kale ee III-V, haddii aad samaynayso aaladaha korontada, LED-yada, ama qaybaha RF.

Sababta Qofka Suuxdinta Leh Uu Muhiim U Yahay In Ka Badan Inta Aad U Maleyn Karto

Ficil ahaan, susceptor-ku ma aha oo kaliya hayaha wafer. Waxay saamaysaa dhaqdhaqaaqa socodka gaaska, kala-goysyada kulaylka ee jeebka ku jira, iyo khatarta isku-xidhka u dhexeeya dufcadaha. Dahaarka SiC ee si fiican loo qaabeeyey wuxuu sameeyaa saddex shay hal mar: wuxuu xiraa dusha sare ee garaafka, wuxuu ka hortagaa gaaska ka baxa, wuxuuna iska caabiyaa weerarka ka imanaya ammonia, hydrogen, iyo halide precursors. Taasi waxay u tarjumeysaa nadiifin yar oo aan shaqaynayn, ku celcelin wanaagsan oo ka timaadda orodka ilaa orodka, iyo - ugu dambeyntii - diets wanaagsan oo badan halkii wafer.

Astaamaha Muhiimka ah ee aan ku dhisnay Dahaarka

● CVD-ga Lakabka SiC oo si buuxda u cufan, oo leh daloolo ku dhow eber - taas oo ah waxa ka dhigaya tirada walxaha inay hoos u dhacdo.

● Iska caabin kiimiko oo ka hortagta cuntooyinka ugu adag ee MOCVD, oo ay ku jiraan kuwa leh heerkulka sare ee NH₃ iyo H₂.

● Xasillooni farsamo oo ku noolaata kuleyl degdeg ah iyo qaboojin iyada oo aan dildilaacsanayn ama kala daadanaynin.

● Dulqaadka mashiinka wuxuu hoos ugu dhacaa dhowr microns, iyadoo taageero buuxda oo OEM ah loo fidiyo naqshadaha jeebka gaarka ah, qaababka godadka, iyo dhexroorka.

Meesha Caadiyan Loo Isticmaalo Dadka Nalooga Shakiyo

● GaNbased LED epitaxy (labada caadiga ah iyo microLED)

● Qaab-dhismeedka qalabka korontada ee GaN (tusaale ahaan HEMTs)

● SiC homoepitaxy iyo heteroepitaxy oo loogu talagalay awoodda iyo RF

● Kobaca AlN ee lakabka UV-ga qoto dheer iyo piezoelectric

Isku darka IIIV kale - InGaN, AlGaN, iyo in ka badan

Muuqaal ahaan: Waxaad Helayso

Sababta Macaamiisheennu u soo noqdaan

Ma nihin guri dahaadh ah oo keliya - waxaan nahay lammaane fahmaya epitaxy gudaha dibadda. Kooxdeennu waxay ka shaqaysay labada dhinac ee fal-galka iyo habka, markaa waan ognahay waxa muhiimka ah: xiriir kuleyl oo joogto ah, hoos u dhac yar, iyo dib-u-soo-celin degdeg ah marka aad u baahan tahay ku celcelin tijaabo ah. Hadday tahay inaad dalbanayso shan qaybood oo loogu talagalay khad tijaabo ah ama shan boqol oo loogu talagalay wax soo saar mug weyn, waxaan isticmaalnaa isku mid ah hubinta adag iyo rabitaan isku mid ah oo aan kula qabsanno.

Su'aalaha Badiya La Weydiiyo - Jawaabaha Tooska ah

S1: Maxay dhab ahaantii ka dhigan tahay "CVD SiCcoated graphite susceptor"?

J: Waa saxan garaafit ah oo la siiyay lakab khafiif ah oo aan lahayn carbide silicon ah iyadoo la adeegsanayo habka kaydinta uumiga kiimikada. Dahaarka ayaa shaabadeeya garaafitka daloolsan, si uusan u sii dayn walxaha ama uga fal celin gaasaska habka gudaha qolka MOCVD.

S2: Maxaad ugu dhibtoonaysaa SiC halkii aad ka ahaan lahayd graphite qaawan ama dahaarka pyrolytic?

A: SiC waxay bixisaa isku-darka naadirka ah - waa adag tahay, kiimiko ahaan aan firfircoonayn, kuleyl ahaan maaraysa, waxayna leedahay isku-darka ballaarinta kulaylka oo u dhow kan garaafitka. Taas macnaheedu waa in dahaadhku uu sii jiro isagoon isbeddelin inta lagu jiro wareegyada heerkulka, si ka duwan walxaha kale ee dillaaca ama dillaaca.

S3: Waa maxay walxaha epitaxial-ka ee aad ku shaqeyn karto suuxdintan?

A: Waxaan aragnay iyaga oo si guul leh loogu isticmaalay GaN, SiC, AlN, AlGaN, InGaN, iyo xitaa qaar ka mid ah biraha ternary iyo quaternary. Dahaarka asal ahaan waa mid hufan oo ku habboon kiimikada, sidaa darteed ma faragelinayo daawada ama isku-darka.

S4: Ma samayn kartaa cabbirro aan caadi ahayn ama naqshado badan oo jeebab leh?

J: Dabcan. Si joogto ah ayaan u mashiinaa jeebabka gaarka ah - dhexroorro kala duwan, qoto dheer, iyo kala fogeyn - iyadoo lagu saleynayo cabbirrada wafer-kaaga iyo qaab-dhismeedka fal-galka. Kaliya noo soo dir sawir qaab DXF ama STEP ah.

S5: Sidee ayay tani si sax ah u kor ugu qaadaysaa wax soo saarka?

A: Saddex siyaabood - walxaha yaryar waxay la macno yihiin wax soo saar sare halkii socod; cimriga dahaarka oo dheer wuxuu la macno yahay beddel yar iyo waqti yar oo aan shaqeynayn; iyo dhaqanka kulaylka oo deggan macnaheedu waa inaad dib u isticmaali karto isla habkaas bilo iyada oo aan dib loo hagaajin. Taasi waxay ku daraysaa horumar la taaban karo oo kharash-ool ah.

Bakhaarka Badeecadaha Semixlab