Saxanka RTP ee Garaafiga ee CVD SiC ee Dahaarka leh

Nidaamyada RTP runtii waxay saxaaradaha taageerada wafer-ka ku ridaan mashiinka. Wareeg kasta, saxaaraddu si degdeg ah ayay u kululeysaa ka dibna si dhakhso ah ayay u qaboojisaa - taasina waxay dhacdaa kumanaan jeer inta uu nool yahay. Haddii agabka ama habka wax soo saarka aan si taxaddar leh loo xakamayn, shoogga kulaylka ee soo noqnoqda wuxuu si tartiib tartiib ah u sababi karaa in saxaaraddu ay qalloocato ama ay lumiso qaabkeeda.

Habkayagu kuma koobna oo keliya ka badbaashada heerkulka sare - waa in la hubiyo in waferku si adag u taageero oo si siman loo kululeeyo, wareeg wareeg ka dib.

Maxaa loo sameeyay SGL6510 Graphite?

Haddaba maxaan u doorannaa SGL6510? Sababtoo ah substrate-ku waa laf-dhabarta saxaaradda oo dhan. SGL6510 waa garaafit isostatic ah oo leh qaab-dhismeed aad u siman, koronto-qaadis heer sare ah, iyo ballaarin heerkul oo hooseeya - dhammaantood waxay gacan ka geystaan ​​​​yareynta cadaadiska gudaha iyo in saxaaraddu ay si cabbir ahaan u xasilloonaato waqti ka dib. Taasi waa muhiim gaar ahaan saxaaradaha khafiifka ah ee mara wareegga heerkulka badan.

Ka dib marka aan mashiinka garaafka u marinno qaabka loo baahan yahay, waxaan marinaa dahaar cufan oo CVD SiC ah. Dahaarkani wuxuu ka ilaaliyaa dusha sare oksaydheynta, daxalka, iyo xirmidda, wuxuuna sidoo kale yareeyaa soo saarista walxaha.

Fidsanaantu waxay ka Muhiimsan tahay Heerkulka

Dhab ahaantii, dadka badankiisu waxay u maleynayaan in caqabadda ugu weyni ay tahay in saxaaraddu ay qaadi karto 700°C. Laakiin taasi runtii maaha arrinta - madax-xanuunka dhabta ah waa qaab-dhismeedka. Saxanka graphite ee khafiifka ah wuu qalloocan karaa inta lagu jiro farsamaynta, inta lagu jiro dahaarka, ama si fudud oo ka timaadda kuleylinta iyo qaboojinta soo noqnoqda. Xitaa isbeddel yar oo qaab ah ayaa saameyn kara sida ugu fiican ee uu u fadhiyo wafer-ka iyo sida uu si siman ugu faafo kulaylku.

Taasi waa sababta xakamaynta fidsanaantu ay tahay mid ka mid ah mudnaantayada ugu sarreysa inta lagu jiro wax soo saarka. Waxaan isticmaalnaa garaafit SGL6510 tayo sare leh oo leh qaab-dhismeed gudaha oo isku mid ah, waxaan si adag u ilaalinaa dulqaadka mashiinka ka hor inta aan la dahaarin, waxaan isticmaalnaa habka CVD SiC ee cadaadiska yar, waxaanan hubinnaa fidsanaan ka dib marxalad kasta oo wax soo saar oo weyn. Natiijada: inta badan saxaaradahayagu waxay gaaraan fidsanaan ≤0.50 mm, qaar badanna way soo baxaan xitaa si siman.

Waxqabadka Agabka

Dahaarka CVD SiC ma aha oo kaliya qolof khafiif ah - wuxuu sameeyaa caqabad adag oo cufan oo runtii dheereysa cimriga garaafka hoostiisa. Isticmaalka dhabta ah, taasi waxay u tarjumeysaa walxo yar, iska caabin aad u fiican oo ku wajahan oksaydhka iyo daxalka, iyo iska caabin shoogga kulaylka oo wanaagsan. Saxannadan waxaa loo sameeyay inay ku sii jiraan qolalka nadiifka ah ee semiconductor-ka.

Dhumucda dahaarka caadiga ah waa 100 ± 20 μm, laakiin waan hagaajin karnaa taas haddii codsigaagu u baahdo wax kale.

Maxaad u dooranaysaa Semixlab?

Samaynta saxaarad RTP oo la isku halleyn karo waxay ka badan tahay oo keliya dahaarka garaafitka iyadoo la adeegsanayo SiC. Marka saxaaraddu khafiif tahay, faahfaahin kasta waa muhiim - saxnaanta mashiinka, cadaadiska dahaarka, fidsanaanta ugu dambeysa. Waxaan sannado badan la shaqeyneynay dahaarka garaafitka saxda ah iyo dahaarka CVD SiC, markaa waxaan fahamsanahay sida loo dheellitiro arrimahan. Natiijada kama dambaysta ah waa saxaarad haysa qaab-dhismeedkeeda, nadiif ah, oo ku siinaysa cimri dheer oo wax soo saar ah.

● Badeecada: Saxanka Garaafiga ee CVD SiC ee Dahaaran RTP

● Qalabka Saldhigga: SGL6510 Graphite Isostatic

● Dahaarka Dusha Sare: CVD Silicon Carbide (SiC)

● Dhumucda dahaadhka: 100 ± 20 μm (la habeyn karo)

● Heerkulka Adeegga Joogtada ah ee Ugu Badan: ilaa 1400°C

● Heerkulka Habka Caadiga ah: qiyaastii 700°C

● Fidsanaan: ≤0.20 mm (ku xiran naqshadda)

● Naqshad Gaar ah: waa la heli karaa

Waxaad ka heli doontaa saxaaradahan habab kala duwan oo semiconductor ah - RTP, RTA, taageerada guud ee wafer-ka heerkulka sare leh, iyo sameynta qolka nadiifka ah. Shaqadooda ugu weyn waa mid fudud: si ammaan ah u hay wafer-ka oo si joogto ah u wareeji kulaylka inta lagu jiro wareegga kulaylka.

1. Maxay fidsanaantu aad muhiim ugu tahay?

Sababtoo ah saxaaraddu si toos ah ayay u taageertaa buskudka inta lagu jiro kululaynta iyo qaboojinta degdega ah. Haddii ay si yar u qalloocdo, buskudka waxaa laga yaabaa inaanu si siman u fadhiisan, taasoo keeni karta in kulaylka la qaybiyo oo uu ku celceliyo.

2. Saxanku ma si joogto ah ayuu u shaqayn karaa 700°C?

Haa – 700°C waxay ku jirtaa aagga raaxada. Saxanka waxaa loo qiimeeyay in si joogto ah loo isticmaalo ilaa qiyaastii 1400°C, markaa 700°C dhib ma laha.

3. Dhumucda dahaarka noocee ah ayaad bixisaa?

Heerkeenu waa 100 ± 20 μm, laakiin waan u habeyn karnaa haddii codsigaagu u baahan yahay dhumuc ka duwan.

4. Ma sameysaa saxaarado RTP oo gaar ah?

Dabcan. Waxaan ka shaqeyn karnaa sawirradaada si aan u soo saarno saxaarado leh cabbirro gaar ah, dhumucda dahaarka, shuruudaha fidsanaan, iyo faahfaahin kasta oo kale oo aad u baahan tahay.