SiC Furnace Tube

Qeexida Alaabta iyo Astaamaha Muhiimka ah

Tuubada foornada SiC waa weel heerkul sare leh oo tuubo ah oo laga sameeyay dhoobada silikoon carbide ceramics oo nadiif ah oo nadiif ah iyada oo loo marayo falcelin falcelineed (RBSC) ama hababka kaydinta uumiga kiimikada (CVD). Si ka duwan sida biraha dhaqameed ama qalabka quartz, qaab dhismeedka gaarka ah ee SiC wuxuu siinayaa sifooyin jireed iyo kiimiko oo aan la bedeli karin, taasoo u oggolaanaysa inay ilaaliso xasilloonida shaqeynta heer sare ah ee deegaannada aadka u daran.

Astaamaha asaasiga ah ee alaabta:

● U adkeysiga heerkulka aadka u sarreeya: Waxay u shaqayn kartaa waqti dheer ka sarreeya 1600 ℃ jawiga aan shaqaynayn, iyo heerkulka isticmaalka badbaadada leh ee jawiga oksaydhisku waa 1250-1300 ℃, oo aad uga badan xadka tuubooyinka quartz (≤1100 ℃) iyo alloys kulayl u adkaysta (1150≤XNUMX).

● Dhaqdhaqaaqa kulaylka iyo xasiloonida kulaylka:

Dareenka kulaylka ayaa u sarreeya 100-200 W/m·K, kaas oo 100 jeer ka badan galaaska quartz. Waxay gaari kartaa qaybinta kulaylka isku midka ah ee foornada (gradient ≤ ± 2℃), baabi'inta dhibaatada meesha kulul ee maxalliga ah ee ku badan tuubooyinka foornada dhaqameed.

Isku-dhafka fidinta kulaylka waa 4.0 × 10⁻⁶ / ℃ (20-1000 ℃), oo ay weheliso modules laastikada sare ee 350 GPa, si loo hubiyo sharafta qaabdhismeedka inta lagu jiro isbeddellada heerkulka daran.

● Xoog makaanikada iyo xirashada caabbinta: Mohs engegnaanta ≥9 (labaad kaliya dheeman), laablaabista xoogga 300 MPa, xoog cadaadis 2000 MPa, iska caabin ah nabaad guurka qayb iyo stress farsamo.

Kiimiko la'aan: U adkaysata daxalka aashitada sida HF iyo HCl, adkaysi u leh etching balaasmaha, gaar ahaan ku habboon deegaanka etching etching semiconductor.

Maxaad u doorataa Semixlab?

Tubooyinka Foornada Silicon Carbide waxaan ku siineynaa kaliya ma buuxin shuruudaha aadka u daran ee heerkulka sare, nadiifnimada sare, iska caabinta daxalka, iwm ee wax soo saarka semiconductor, laakiin sidoo kale waxay ku guuleystaan ​​kalsoonida macaamiisha iyada oo loo marayo taageero habaysan, gaarsiin degdeg ah iyo adeeg tayo sare leh ka dib iibka.

Haddii aad tahay injineer qalabka wafer-ka, cilmi-baadhaha shaybaadhka, ama qalabaynta qalabka, waxaanu ku siin karnaa xalal la isku halayn karo, waara oo nadiif ah habka daaweynta kulaylka ee dhamaadka-sare. Ku soo dhawoow inaad nala soo xidhiidho si aad u bilowdo khibradaada cusub ee daaweynta kulaylka ee waxqabadka sare leh.

Isbarbardhigga waxqabadka ee tuubooyinka foornada SiC iyo agab kale:

Isticmaalka gaarka ah ee habaynta iyo soosaarka semiconductor

SiC Furnace Tube waxay ka ciyaartaa door lama huraan ah oo ku saabsan habaynta iyo wax soo saarka semiconductor, codsigeeduna wuxuu daboolayaa xiriiriyayaal badan oo geeddi-socod oo muhiim ah:

● Foornada Faafinta:

Shaqada: Foornada faafinta ayaa ah qalabka udub dhexaadka u ah doping, oxidation, annealing iyo hababka kale ee wax soo saarka semiconductor. Sida xadhkaha xudunta u ah foornada faafinta, tuubada foornada ee SiC waxay siisaa qol falcelin deggan, saafi ah, heerkul sarreeya oo waferka ah.

Faa'iidooyinka: Nadaafadda sare iyo iska caabbinta heerkulka sare ee SiC waxay hubisaa yaraynta wasakhda inta lagu jiro habka faafinta oo ka fogow faddaraynta maraqa. Xasiloonida naxdinta kulaylka ee aadka u fiican waxay hubisaa daacadnimada tuubada foornada inta lagu jiro habka kuleylka iyo qaboojinta, iyo sidoo kale xasilloonida qaabdhismeedka hoos yimaada hawlgalka heerkulka sare ee muddada-dheer, si loo gaaro feejignaanta saxda ah ee doping iyo koritaanka lakabka oksaydhka. Tani waxay lagama maarmaan u tahay soo saarista transistor-yada waxqabadka sare leh iyo wareegyada isku dhafan.

● PECVD (dhigista uumiga kiimikaad ee Plasma wanaajiyay)/LPCVD (Qalabka uumiga Kiimikada Cadaadis hoose)

Shaqada: Qalabka PECVD/LPCVD, tuubooyinka foornada ee SiC waxaa loo isticmaalaa qolal falcelin ah si loogu dhejiyo filimo khafiif ah oo kala duwan oo ku yaal dusha sare ee wafers, sida silicon oxide, silicon nitride, iwm.

Faa'iidooyinka: caabbinta daxalka ee tuubooyinka foornada ee SiC waxay awood u siineysaa inay u adkeysato nabaad-guurka gaaska habka (sida SiH4, NH3, N2O, iwm.), hubinta xasilloonida habka dhigaalka filimka iyo tayada lakabka filimka. Nadiifinteeda sare waxay sidoo kale ka hortagtaa filimka in lagu wasakheeyo walxaha tuubada foornada, hubinta sifooyinka korantada iyo indhaha ee lakabka filimka.

● Qalabka ALD (Lakabka atomiga ah)

Function: ALD waa tignoolajiyada kori kara aflaan aad u khafiif ah oo isku mid ah. Tuubooyinka foornada ee SiC waxay bixiyaan jawi falcelin deggan oo sahlan oo lagu nadiifiyo qalabka ALD.

Faa'iidooyinka: Dusha sare ee SiC ma fududa in la isku dhejiyo horudhacyada falcelinta. Dushadeeda siman iyo nadiifnimadeeda aadka u saraysa waxay ku haboontahay xakamaynta kobaca filimka heerka atomiga, hubinta lebbiska dhumucda filimka iyo ku celcelinta sare.

● Foornada diilinta heerkulka sare:

Shaqada: Heerkulka sare ee nuugista ayaa ah tallaabo muhiim ah oo lagu baabi'inayo cilladaha waferka, firfircoonida dopants, iyo hagaajinta sifooyinka alaabta.

Faa'iidooyinka: Tubooyinka foornada ee SiC waxay ku siin karaan jawi heerkul aad u sarreeya oo deggan si ay u caawiyaan waferrada dhamaystirka hagaajinta xarkaha iyo firfircoonida wasakhda, iyo hagaajinta waxqabadka korantada iyo isku halaynta aaladaha. Awooddeeda farsamo ee aadka u wanaagsan iyo caabbinta shoogga kulaylka waxay sidoo kale hubisaa in tuubooyinka foornada ay yihiin kuwo sugan inta lagu jiro heerkulka joogtada ah ee kor u kaca iyo hoos u dhaca.

● Codsiyada kale ee heerkulka sare:

SiC Furnace Tube waxaa sidoo kale loo isticmaalaa foornooyinka tijaabada ah ee heerkulka sare, foornooyinka shey gaar ah, iwm. marxaladaha R & D ee kala duwan, siinta jawi heerkul sare ah oo lagu kalsoonaan karo oo loogu talagalay horumarinta qalabka semiconductor-ka-goynta.

Welwelka isticmaalaha iyo xalalka

1: Dayactirka qalabka joogtada ah iyo dillaaca fudud ee tuubooyinka quartz?

Xalka: Semixlab waxay isticmaashaa tuubooyinka dhoobada silikoon carbide cufnaanta sare leh oo leh iska caabin shoog kulayleed oo aad u wanaagsan, taas oo si weyn u yareeyn karta soo noqnoqda dayactirka iyo khataraha wakhtiga hoos u dhaca.

2: Shuruudaha nadiifinta alaabta ayaa sarreeya, sida looga fogaado wasakhowga sare?

Xalka: Dooro daahan CVD SiC ama tuubada SSiC cufan saafi-sare, sii daynta wasakhda birta aadka u hooseeya, la kulan heerarka nidaamka nadiifka ah.

3: Miyay adag tahay in la iibsado cabbirro gaar ah ama qaab-dhismeedyo interface?

Xalka: Waxaan taageernaa qaabaynta qaab-dhismeedka iyo habaynta qaab-dhismeedka isku-dhafka ah (sida is-dhex-galayaasha flange, tuubooyinka-tallaabooyinka, qalloocyada L-qaabeeya, iwm.) si aan u daboolno baahiyahaaga is-dhexgalka ee kala duwan oo adag.

4: Sida loo xalliyo wakhtiga dhalmada dheer iyo dammaanad iibka ka dib?

Xalka: Sida soo saaraha hormuudka ah iyo alaab-qeybiyaha qaybaha SiC ee Shiinaha, Semixlab wuxuu leeyahay faa'iidooyinka soo socda: awoodda wax-soo-saarka xasilloon + hubinta tayada adag + baakadaha dhoofinta + taageerada farsamada, taas oo dammaanad qaadi karta wakhtiga bixinta iyo bixinta kalsoonida iskaashiga muddada dheer.

Dukaamada alaabta Semixlab