TaC Dahaarka Taarikada Taageerada Pedestal-ka

Tignoolajiyada Semixlab, waxaanu aqoonsannahay in saxanka taageerada salku u yahay mid ka mid ah qaybaha ugu muhiimsan qaab dhismeedka iyo kulaylka ee qolalka geedi socodka semiconductor sare. Deegaannada heerkulku sarreeyo sida epitaxy, CVD, iyo nidaamyada etching plasma, salku kaliya ma taageerto waferka ama suulaha si farsamaysan, laakiin sidoo kale waxa uu door muhiim ah ka ciyaaraa hubinta isku mid ahaanshaha kulaylka saxda ah, waxqabadka kiimikada xasilloon, iyo habka soo noqnoqda ee wareegga wax soo saarka kasta.

Lagu farsameeyay agab garaafeed saafi ah oo sarreeya laguna dahaadhay lakabyo shaqaynaya oo horumarsan sida Tantalum Carbide (TaC), saxanka taageerada salku wuxuu u shaqeeyaa sidii is-dhexgal heerkuleed oo deggan oo u dhexeeya moduleka kuleyliyaha iyo waferka. Qaabayntani waxay awood u siinaysaa kulaylka isku midka ah ee u qaybsanaanta dhammaan dusha sare ee wafer-waa arrin lama huraan u ah gaaritaanka heerarka kobaca filimada ee joogtada ah, muuqaalada dopant-ka la kantaroolo, iyo cufnaanta ugu yar ee cilladaha epitaxial ama hababka kaydinta. Heerarka kulaylka sare ee qaab dhismeedka saldhigga, oo ay weheliso qallafsanaanta kiimikaad sare ee daahan TaC, waxay hubisaa in madalku weli tahay mid xasilloon oo daxalka u adkaysata xitaa marka lagu jiro kuleyliyaha soo noqnoqda ee heerkulka ka sarreeya 1200 ° C.

Marka laga soo tago maaraynta kulaylka, saxanka taageerada salku wuxuu sidoo kale u shaqeeyaa sidii cunsur xakamaynta wasakhda muhiimka ah. Inta lagu jiro hawlgallada balaasmaha etching iyo CVD, jawiga qolka wuxuu inta badan ku lug leeyahay gaasaska falcelinta sida chlorine, fluorine, ama silane. Noocyadani waxay si ba'an u weerari karaan sagxadaha aan la ilaalin, iyagoo soo saaraya badeecooyin aan la rabin ama qaybo wax u dhimaya dhalidda waferka. Marka la isku daro daahan taC ah oo cufan iyo lebis ah, xalinta lugta ee Semixlab waxay ka hortagtaa xaalufka shay iyo daadinta walxaha, si loo ilaaliyo nidaamka nadiifka ah isla markaana kordhinaysa guud ahaan nolosha adeegga qalabka.

Intaa waxaa dheer, qummanaanta saxda ah iyo hufnaanta farsamada ee saxanka taageerada ayaa dammaanad qaadaya meelaynta waferka xasilloon iyo kala dheeraynta habka isku midka ah - arrimo si toos ah u saameeya dhaqdhaqaaqa socodka gaaska, qaybinta balaasmaha, iyo dheelitirka kulaylka. Dhammaystirka sare-sare ee Semixlab iyo teknooloojiyada xakamaynta isku midka ah ee dahaarka ayaa u oggolaanaya salku inuu ilaaliyo qorshe-hoosaadka micron-ka iyo heerarka qallafsanaanta dusha ka hooseeya Ra 0.2 μm, si wax ku ool ah u yareeya cilladaha-yar iyo filimada aan-qaababka lahayn inta lagu jiro wax-soo-saarka saxda ah ee sare.

Nuxur ahaan, saxanka taageerada salku ma aha oo kaliya qalab makaanik-waa udub dhexaad u ah hawl qabadka iyo isku halaynta. Iyada oo loo marayo naqshad kuleyl ah oo la hagaajiyay, tignoolajiyada daahan sare, iyo xulashada walxaha adag, Semixlab Technology waxay soo saartaa golayaasha lugaha ee taageeraya noodhka wax soo saarka jiilka soo socda, laga bilaabo agabyada fidsan sida SiC iyo GaN ilaa codsiyada epitaxy silicon horumarsan.