Giraanta Qabsashada 0200-15001

Giraanta Qabsashada ee AMAT 0200-15001 waa mid ka mid ah qaybaha muhiimka ah ee qaab-dhismeedka qolalka qalabka semiconductor-ka ee Qalabka La Adeegsaday (AMAT). Waa qayb ka mid ah isku-xidhka/isku-riixidda dhoobada oo alumina (Al₂O₃) saafi ah oo si weyn loogu isticmaalo qaybaha habka dhigista iyo qodista. Qiimaha asaasiga ah kuma jiro ka qaybgalka tooska ah ee falcelinta, laakiin waa ilaalinta xasilloonida qaab-dhismeedka qolka iyo joogtaynta jawiga geeddi-socodka.

1. Dulmar Guud ee Badeecada iyo Astaamaha Agabka (Al₂O₃)

● Magaca Badeecada: AMAT 0200-15001 Giraanta Laambadda

● Qaybta: Giraanta Xargaha Ceramic-ka ee Qolka / Qaybta Xargaha Qolka

● Alaab: Dhoobada aluminiumka saafiga ah (Al₂O₃)

2. Hawlaha Muhiimka ah ee Qalabka Semiconductor-ka

Qaab-dhismeedka qolka AMAT gudahiisa, Giraanta Clamp-kan waxay inta badan u adeegtaa hawlaha xakamaynta farsamada iyo hubinta xasilloonida habka:

① Qalabka Dhismaha iyo Qalabka Qolka

Waxaa loo isticmaalaa in si ammaan ah loogu hagaajiyo qaybaha muhiimka ah ee qolka, oo ay ku jiraan:

● Quartz (qaybaha quartz)

● Dahaarka (dahaarka qolka)

●Giraanta geeska (qaab-dhismeedka giraanta geeska)

● Qolka qubeyska (qaab-dhismeedka qaybinta gaaska)

Isku-xidhka saxda ah wuxuu ka hortagaa qaab-dhismeedka khaldan ee uu keeno fidinta kulaylka ama cadaadiska faakuumka.

② Xakamaynta Midaysan ee Plasma

Saxnaanta joomatari ee Giraanta Clamp waxay si toos ah u saameysaa:

● Isku-dheelitirnaanta qaybinta goobta korantada

● Isku mid ahaanshaha cufnaanta balaasmaha

●Awoodda xakamaynta saamaynta geeska

Tani waxay si gaar ah muhiim ugu tahay hababka horumarsan (≤28 nm).

③ Hubinta Xakamaynta iyo Wax-soo-saarka Walxaha

Xasiloonida qaab-dhismeedku waxay yareysaa gariirka yar-yar iyo is-qabsiga, taasoo yareyneysa:

●soo saarista walxaha yaryar

● wasakhowga geeska wafer

● isbeddellada cufnaanta cilladaha

3. Qaababka Guul-darrooyinka Caadiga ah (Falanqaynta Guul-darrooyinka)

Iyada oo lagu saleynayo khibradda Semixlab ee dayactirka iyo dib-u-habaynta qalabka, qaababka cilladaha caadiga ah ee noocan ah ee Al₂O₃ Clamp Ring waxaa ka mid ah:

① Nabaad-guurka Balaasmaha

Soo-gaadhista muddada dheer ee deegaanka gaaska falgalka ah waxay keentaa:

● Dusha sare oo qaloocsan

● Buufinta walxaha

● Sii deynta walxaha oo kordhay

② Dildilaaca Cadaadiska Kulaylka

Waxaa sababa isbeddellada heerkulka degdegga ah (wareegga kulaylka):

● Samaynta iyo faafinta dildilaaca yar yar

● Xoogga dhismaha oo yaraada

●Khatarta suurtagalka ah ee jabka

③ Jabinta Edge

Badanaa waxaa lagu arkaa kiisaska:

● Cadaadis aan sinnayn oo rakibid ah

● Xakamaynta wareegga oo aan habboonayn

● Saamaynta farsamada

④ Qalalaasaha Gaaska Daadinta ee Walxaha

Sii deynta walxaha Al₂O₃ ka dib burburka dusha sare:

● Heerka cilladaha wafer-ka oo kordha

● Daaqadda hawsha oo cidhiidhi ah

⑤ Wadada Cabbirka

Isbeddellada qaab-dhismeedka microstructural-ka ee ay sababaan rarista kulaylka muddada dheer:

● Saxnaanta isku-xidhka oo yaraatay

● Shaabad qolka oo xumaatay