Giraanta Diiradda Saaran ee Adag ee SiC

Giraanta Diiradda Saaran ee Solid SiC waa qayb muhiim ah oo ka mid ah taabashada balaasmaha oo loo sameeyay hababka wax soo saarka semiconductor-ka ee horumarsan. Hawshahan, xakamaynta saxda ah ee qaybinta balaasmaha, midnimada habka, iyo xasilloonida qolka ayaa ah mid aad muhiim u ah. Qalabka casriga ah ee qalajinta iyo dhigista, waxqabadka qaybaha xakamaynta geeska wafer waxay leeyihiin saameyn toos ah oo la qiyaasi karo oo ku saabsan soo celinta habka, wax soo saarka, iyo waqtiga shaqada qalabka. Giraanta Diiradda Saaran ee Solid SiC ee Semixlab waxay isku daraysaa daahirnimada, hufnaanta qaab-dhismeedka, iyo iska caabbinta daxalka balaasmaha muddada dheer ee walxaha SiC si loo daboolo shuruudahan adag.

Hababka lagu qurxiyo Plasma-ka Isku-xidhan ee Inductively Coupled Plasma (ICP) iyo Capacitively Coupled Plasma (CCP), giraanta diiradda la saarayo waxay ku taal geeska wafer si loo qeexo loona xasiliyo xadka balaasmaha. Shaqadeeda ugu weyni waa inay nidaamiso goobta korantada ee maxalliga ah iyo cufnaanta balaasmaha ee u dhow geeska wafer, taasoo yaraynaysa saameynta geesaha ee sababi kara isku-mid la'aanta heerka etch, qallooca muuqaalka, ama kala duwanaanshaha cabbirka muhiimka ah. Iyada oo la ilaalinayo isdhexgalka balaasmaha ee joogtada ah ee dusha sare ee wafer, giraanta xoogga la saarayo ee silikoon carbide waxay xoojisaa isku-midnimada bartamaha-ilaa-gees.

Jaantuska shaqada ee giraanta diiradda saaraysa ee adag ee sic etching

Hawsha dhigista PECVD iyo ALD, dhumucda filimka isku midka ah iyo isku dheelitirnaanta halabuurka ayaa muhiim ah. Giraangiraha Diiradda Saaran ee SiC ee Adag ayaa door muhiim ah ka ciyaara qaabaynta jawiga falcelinta ee geeska wafer. Waxay gacan ka geystaan ​​​​xakamaynta qaybinta noocyada falgalka iyo tamarta balaasmaha, waxay yareeyaan heerka xad-dhaafka ah ee geeska, waxayna yareeyaan isku-dhafka filimka ee ay keento ballaarinta balaasmaha aan la xakamayn karin.

Marka la barbardhigo xalalka dhaqameed ee isticmaala substrates-ka quartz, alumina, ama graphite, Solid SiC Ceramics waxay bixiyaan faa'iidooyin kala duwan. Carbide-ka silicon adag wuxuu muujiyaa iska caabin daxaleed oo gaar ah oo ka dhan ah kiimikooyinka plasma-ka ku salaysan fluorine iyo chlorine, xasillooni heer sare ah inta lagu jiro hawlgalka awoodda sare leh, iyo qaab-dhismeed yar oo cufan oo si weyn u yareeya soo saarista walxaha. Sifooyinkani waxay awood u siinayaan giraanta diiradda saarta inay ilaaliso waxqabadka korontada iyo farsamada ee deggan inta lagu jiro wareegyada cimriga dheer, taasoo yaraynaysa khatarta wasakhowga qolka iyo yaraynta socodka geeddi-socodka ee la xiriira xirashada qaybaha.

Iyada oo laga faa'iideysanayo khibradda qoto dheer ee Semixlab iyo tignoolajiyada ugu sarreysa ee farsamaynta dhoobada ee horumarsan, faraantiyadayada diiradda saaraya Solid SiC waxay bixiyaan waxqabad joogto ah oo ka jira deegaannada ugu baahida badan ee balaasmaha. Iyagoo kordhinaya cimriga qaybaha, yareynaya soo noqnoqoshada dayactirka, iyo ilaalinta xaaladaha balaasmaha ee deggan, soosaarayaasha semiconductor-ka waxay gaaraan wax-soo-saar sare, kordhinta isticmaalka qalabka, iyo kharashyada wax-soo-saarka oo hooseeya. Nala soo xiriir si aad u hesho la-talin farsamo oo horumarsan iyo xalal wax soo saar oo loogu talagalay hababkaaga qodista semiconductor-ka iyo hababka dhigista PECVD/ALD.