Semiconductor giraanta quartz

Semixlab, waxaanu ku takhasusnay horumarinta iyo soo saarista qaybaha quartz-ka nadiifka ah ee nadiifka ah ee loogu talagalay deegaanka habaynta semiconductor-ka soo socda. Kuwaas waxaa ka mid ah, Semixlab High-Purity Quartz Ring wuxuu ka ciyaaraa door muhiim ah oo ku saabsan tilaabooyin badan oo soo saarista wafer-dhamaadka hore ah, halkaas oo saxnaanta cabbirka, nadaafadda kiimikada, iyo xasiloonida kulaylku ay si toos ah u saameeyaan waxqabadka habka iyo dhalidda qalabka.

Nidaamyada kaydinta uumiga kiimikada (CVD) - oo ay ku jiraan LPCVD, PECVD, iyo heerkulka sare ee SiC ama Si epitaxy reactors - giraanta quartz waxay u adeegtaa qaab dhismeed iyo mid shaqeynaya oo u dhexeeya susceptor iyo qolka falcelinta. Doorkeeda aasaasiga ah waa in ay go'doomiso socodka gaaska fal-celiska ah, yarayso kaydinta dulin ee gidaarada qolka, oo ay dejiso astaanta kulaylka ee agagaarka waferka. Labbiska kulaylka gaarka ah ee Quartz-ka saxda ah ee Semixlab waxay hubisaa dhumucda filimka joogtada ah iyo tayada sare ee dusha sare ee waferka. Daah-furnaanta isha ee maaddada iyo milicsiga infrared-ka ayaa sidoo kale lagu habayn karaa si kor loogu qaado hufnaanta kulaylka oo loo yareeyo heerkulbeegyada aagga kaydinta.

Marka la eego hababka etching plasma (qalalan), giraanta quartz waxay u shaqeysaa sidii xannibaad ka ilaalinaysa nabaad guurka balaasmaha iyo bamamka ion, ka ilaalinta sagxadaha macdan ee qolka wasakhda iyo abuurista walxaha. Quartzkeena cufnaanta sare leh, oo lagu soo saaray qeexitaannada wasakhda si adag loo kontoroolo (<1ppm faddaraynta macdan), waxay ilaalisaa daacadnimada cabbirka xitaa iyadoo ay sii dheeraato soo-gaadhista fluorine-ka gardarrada leh- iyo balaasmooyinka koloriin-ku-salaysan. Tani waxay si weyn u kordhisaa qaybta qolka waxayna ka caawisaa in la joogteeyo qaybinta balasmaha, halbeegga muhiimka ah ee lebiska etch iyo xakamaynta CD (cabirka muhiimka ah).

Gudaha foornooyinka oksaydhka iyo faafinta, Semixlab quartz siddooyinku waxay u shaqeeyaan sidii isku toosin sax ah iyo walxaha dahaarka ee taageera doomaha wafer-ka oo qeexaya habka socodka gaaska. Xidhiidhkooda balaadhinta kulaylka aadka u hooseeya waxay yaraynaysaa walaaca inta lagu jiro kulaylka soo noqnoqda ee heerkulka ka sarreeya 1000 °C. Natiijadu waxay wanaajisay ku celcelinta habka, daciifnimada oo yaraada, iyo yaraynta khatarta wasakhowga walxaha ee oksaydhka heerkulka sare ama tallaabooyinka faafinta dopant.

Hababka koritaanka epitaxial, gaar ahaan SiC epitaxy, giraanta quartz waxay gacan ka geysataa isku midnimada heerkulka iyo go'doominta kiimikada. Waxay ku taal hareeraha garaafka ama suulaha dahaarka leh ee SiC, waxay u dhaqantaa sidii qayb ka tarjumaysa oo xidhidh, qaabaynaysa lakabka xadka gaaska waxayna hagaajinaysaa isku-duubnaanta dopant iyo dhumucda dusha sare ee waferka. Isku darka caabbinta kulaylka sare, qallafsanaanta kiimikaad, iyo xasilloonida indhaha ayaa u oggolaanaysa Semixlab quartz giraanta inay joogteeyaan waxqabadka xitaa heerkulka ku dhow 1600 ° C ee jawiga qani ku ah hydrogen.

Tobannaan sano oo khibrad saynis ah oo agab ah iyo been-abuur sax ah, Semixlab's High-Purity Quartz Rings waxay noqdeen doorasho la aamini karo ee soosaarayaasha semiconductor-ka caalamiga ah iyo qalabka OEM-yada raadinaya isku halaynta, nadiifnimada, iyo xasiloonida habka. Qayb kasta waxaa loo habeeyey heerarka SEMI, oo lagu xaqiijiyay ICP-MS falanqaynta aasaasiga ah, oo lagu farsameeyay ISO-shahaadeeyay deegaan wax soo saar nadiif ah. Sifooyinku waxay xaqiijinayaan in Semixlab quartz giraannada ay keenaan waxqabad joogto ah, yareeyaan wakhtiga hoos u dhaca, oo ka caawiyaan macaamiisha inay gaadhaan kontorool adag oo habka iyo wax-soosaarka aaladda sare ee wax soo saarka semiconductor sare.