EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
0200-10243 Giraanta Hooska 150mm
AMAT 0200-10243 Shadow Ring 150mm waxaa loogu talagalay nidaamyada semiconductor etch iyo dhigista. Iyada oo ku taal geeska wafer, waxay door muhiim ah ka ciyaartaa xakamaynta qaybinta balaasmaha, hagaajinta isku-dhafka geeska, iyo yaraynta wasakhowga. Waxaa laga sameeyay quartz isku-dhafan oo saafi ah, giraantan hadhka ah si wax ku ool ah ayay u yareysaa cilladaha geeska, waxay xoojisaa isku-dheellitirka dhumucda filimka, waxayna taageertaa natiijooyinka habka soo noqnoqonaya. Tiknoolajiyadda Semixlab, xalalka giraanta hadhka waxaa loo habeeyay saxnaanta cabbirka, daahirnimada agabka, iyo cimriga dheer ee adeegga - oo ka caawinaya soosaarayaasha semiconductor inay hagaajiyaan wax soo saarka, yareeyaan soo noqnoqoshada dayactirka, iyo ilaalinta xasilloonida habka. Waxaan rajeyneynaa weydiintaada.
Description
1. Dulmarka Badeecada
AMAT 0200-10243 Shadow Ring 150mm waa qayb quartz ah oo sax ah oo loo isticmaalo nidaamyada farsamaynta semiconductor-ka 150mm, gaar ahaan qolalka qodista iyo CVD.
Waxaa laga sameeyay quartz isku dhafan oo saafi ah, giraanta hooska ah waxaa loo sameeyay inay u adkaysato jawiga balaasmaha ee adag iyadoo la ilaalinayo xasilloonida cabbirka iyo heerarka wasakhowga hooseeya. Waxaa si gaar ah loogu talagalay inay ku habboonaato goobaha Qalabka La Adeegsaday, iyadoo la hubinayo iswaafajinta iyo isku-darka habka la isku halleyn karo.
Semixlab Technology, waxaan bixinaa giraangiraha hadhka ee tayo sare leh oo leh xakameyn adag oo ku saabsan daahirnimada agabka, saxnaanta mishiinnada, iyo dhammaystirka dusha sare si loo daboolo shuruudaha adag ee wax soo saarka semiconductor-ka horumarsan.
2. Booska Qalabka & Doorka Shaqada
Giraanta hooska waxaa lagu rakibay hareeraha dibadda ee wafer-ka gudaha qolka geeddi-socodka, taasoo samaynaysa is-dhexgal muhiim ah oo u dhexeeya geeska wafer-ka iyo deegaanka ku xeeran ee balaasmaha.
Meelaynta Caadiga ah:
● Ku wareegsan wafer-ka qalabka korontada ku shaqeeya (ESC) ama susceptor-ka
● Waxay ku taal aagga soo-gaadhista balaasmaha
● Ku yaal geeska wafer-ka iyo derbiga qolka
Doorka shaqada ee nidaamka:
● Waxay u dhaqantaa sidii lakab xuduudeed oo jireed iyo mid habaysan
● Waxay saamaysaa qaybinta balaasmaha iyo dhaqanka goobta korantada ee geeska
● Waxay u adeegtaa sidii qayb ka mid ah ilaalinta allabaryada ka dhanka ah soo-gaadhista tooska ah ee plasma
Qalabka semiconductor-ka ee horumarsan, xitaa kala duwanaansho yar oo ku yimaada xaaladaha geesaha ayaa si weyn u saameyn kara waxqabadka guud ee habka, taasoo ka dhigaysa giraanta hooska inay noqoto qayb muhiim ah oo ka mid ah qaab-dhismeedka xakamaynta habka.
3. Hawlaha Muhiimka ah & Saamaynta Geedi socodka
AMAT 0200-10243 Shadow Ring wuxuu door muhiim ah ka ciyaaraa hubinta midnimada habka, xasilloonida wax soo saarka, iyo xakamaynta wasakhowga.
Ilaalinta Cirifka
● Waxay ka ilaalisaa geesaha wafer-ka duqaynta tooska ah ee plasma-ga
● Waxay yareysaa dhaawaca geesaha, jabka, iyo astaamaha aan caadiga ahayn ee qoynta
Hagaajinta Qaybinta Balaasmaha
● Waxay wax ka beddeshaa cufnaanta balaasmaha maxalliga ah ee u dhow geeska wafer-ka
● Waxay ka hortagtaa xoqidda geesaha ama dhigista xad-dhaafka ah
Horumarinta Midnimada
● Waxay hagaajisaa heerka xoqidda iyo isku dheelitirnaanta dhumucda filimka ee ku wareegsan wafer-ka
● Waxay yareysaa aagagga ka saarista geesaha
Xakamaynta wasakheynta
● Waxay qabataa wax soo saarka iyo walxaha ka soo baxa habka
● Waxay yareysaa khatarta wasakhowga inuu gaaro meelaha firfircoon ee wafer-ka
Xasiloonida Geedi socodka
● Waxay ilaalisaa xaaladaha habka soo noqnoqoshada leh ee wareegyo badan
● Waxay taageertaa xakamaynta adag ee CD-ga (cabbirka muhiimka ah) iyo sifooyinka filimka
4. Noocyada Cilladaha Caadiga ah & Tixgelinta Beddelka
Iyada oo ay ugu wacan tahay soo-gaadhista joogtada ah ee balaasmaha, heerkulka sare, iyo gaasaska falgalka ah, giraanta hooska ayaa si tartiib tartiib ah u burburta. Fahmidda hababka cilladaha ayaa lagama maarmaan u ah ilaalinta xasilloonida habka.
Hababka Caadiga ah ee Guul-darrooyinka:
① Nabaad-guurka Balaasmaha
Khasaaraha walxaha dusha sare ee ay keento duqeynta ion
Waxay horseedaa isbeddello cabbir iyo hab-dhaqanka balaasmaha oo isbeddelay
② Kiimikada Daxalka
Falcelinta gaasaska daran (tusaale ahaan, kiimikooyinka ku salaysan fluorine)
Waxay keentaa qallooca dusha sare iyo daciifnimada qaab-dhismeedka
③ Soo saarista walxaha
Dildilaaca yaryar ama burburka dusha sare ayaa sii deyn kara walxo yaryar
Waxay kordhisaa khatarta wasakhowga waxayna yareysaa wax soo saarka
④ Dhisidda Dhigaalka
Uruurinta wax soo saarka habka (tusaale ahaan, haraaga polymer)
Waxay beddeshaa xaaladaha habka maxalliga ah iyo qaybinta balaasmaha
⑤ Cadaadiska Kulaylka iyo Dildilaaca
Wareegga kulaylka ee soo noqnoqda ayaa sababi kara jajab yar yar
Waqti ka dib, waxay wiiqdaa hufnaanta farsamada
Saamaynta Guuldarrooyinka:
● Wasakhowga walxaha oo kordha
● Kala duwanaanshaha CD-ga Edge iyo isku-mid la'aanta
● Wax soo saarka wafer-ka oo yaraaday
● Hawsha oo si tartiib tartiib ah u socota iyo soo noqnoqoshada oo yaraata
● Kordhinta soo noqnoqoshada dayactirka qolka
Advantage tartanka
Semixlab Technology, waxaan wax ka qabannaa caqabadahan iyada oo loo marayo:
● Xulashada walxaha quartz-ka ee saafiga ah si loo yareeyo wasakhowga
● Mashiinka saxda ah ee loogu talagalay dulqaadka cabbirka adag
● Daaweynta dusha sare ee la hagaajiyay si kor loogu qaado iska caabbinta balaasmaha
● Xalalka dahaarka ee horumarsan ee ikhtiyaariga ah (tusaale ahaan, dahaarka SiC) ee cimri dheer iyo soo saarista walxaha la dhimay
Ma raadineysaa beddel lagu kalsoonaan karo ama casriyeyn waxqabad?
Semixlab Technology waxay bixisaa xalal farsamo oo hadh ah iyo ikhtiyaarro dahaadh oo horumarsan oo loogu talagalay shuruudahaaga gaarka ah ee habka. Nala soo xiriir maanta si aad u wanaajiso waxqabadka habkaaga semiconductor-ka.
Adeegyada aan bixino
Dukaanka wax soo saarka Semixlab
