0200-36680 Dahaarka Qaybta Gaaska Sare

AMAT 0200-36680 Upper Gas Dist Liner waa qayb ka mid ah qolka quartz sax ah oo loogu talagalay nidaamyada dhigista semiconductor-ka ee Qalabka La Adeegsaday (AMAT). Iyada oo lagu rakibay gobolka qaybinta gaaska sare ee qolalka habka ee la xoojiyay ee balaasmaha, dahaarkani wuxuu door muhiim ah ka ciyaaraa ilaalinta isku mid ahaanshaha balaasmaha, xasilloonida socodka gaaska, joogteynta habka RF, iyo xakamaynta wasakheynta inta lagu jiro soo saarista wafer-ka horumarsan.

Waxaa laga sameeyay quartz isku dhafan oo saafi ah, qaybta waxaa loo habeeyay inay u adkaysato jawiga balaasmaha ee daran, wareegga kuleylka, iyo kiimikooyinka habka semiconductor-ka ee falcelinta leh ee badanaa laga helo codsiyada PECVD iyo CVD.

Semixlab, waxaan bixinaa qalab lagu kalsoonaan karo oo qolka semiconductor ah iyo qaybo habraac sax ah oo taageera hawlgalka qalabka xasilloon, dayactirka ka hortagga, iyo ku celcelinta habka muddada-dheer ee xarumaha wax soo saarka semiconductor-ka adduunka oo dhan.

Macluumaadka Aasaasiga ah ee Alaabta

Dahaarka AMAT 0200-36680 waxaa badanaa loo isticmaalaa qayb ka mid ah qaab-dhismeedka qaybinta gaaska qolka ee ku jira nidaamyada dhigista balaasmaha AMAT. Waxaa badanaa lala xiriiriyaa isku-dhafka qaybinta gaaska sare halkaas oo gaasaska habka iyo isdhexgalka balaasmaha RF ay tahay in si sax ah loo xakameeyo.

Iyada oo ah qayb la isticmaalo oo u jeedda plasma, dahaarka waxaa ku xiran kororka dhigista, cadaadiska kulaylka, iyo soo-gaadhista nadiifinta qolka inta lagu jiro wareegyada wax soo saarka semiconductor-ka caadiga ah.

Qaab-dhismeedka Badeecada iyo Sifooyinka

1. Dhismaha Quartz-ka Nadiifka Sare leh

AMAT 0200-36680 Upper Gas Dist Liner waxaa laga sameeyay walxo quartz ah oo saafi ah oo aad u sarreeya oo si gaar ah loogu xushay deegaannada wax-soo-saarka balaasmaha semiconductor-ka.

Quartz waxaa si weyn loogu isticmaalaa qolalka dhigaalka semiconductor-ka sababtoo ah waxay bixisaa:

● Iska caabin aad u fiican oo balaasmaha ah

● Khatar yar oo wasakhaynta birta ah

● Xasillooni kuleyl sare leh

● Dahaarka dielectric-ga oo sarreeya

● Hufnaan xooggan oo RF ah

● La jaanqaadida kiimikada qolka falcelinta

Astaamahan agabka ah ayaa lagama maarmaan u ah ilaalinta xaaladaha geeddi-socodka ee deggan inta lagu jiro wax-soo-saarka wafer-ka mugga sare leh.

2. Joomatari Qaab-Goobo Sax ah

Sida ka muuqata sawirka badeecada, dahaarka waxa uu leeyahay qaab-dhismeed giraan wareegsan oo si sax ah loo farsameeyay oo loogu talagalay isku-dhafka gudaha shirka qaybinta gaaska ee qolka.

Joomatarigu waxaa loo qaabeeyey inuu taageero:

● Faafinta gaaska habka isku midka ah

● Samaynta xuduud balaasma ah oo deggan

● Qaybinta goobta RF ee la xakameeyey

● Dhaqdhaqaaqa socodka qolka oo joogto ah

● Waxqabadka habka geeska wafer-ka ee la hagaajiyay

Saxnaanta cabbirka ee qalabka qolka quartz aad ayey muhiim ugu tahay qalabka semiconductor-ka sababtoo ah xitaa kala-goysyada joomatari ee yaryar waxay saameyn karaan isku-dheelitirka balaasmaha iyo isku-dhafka dhigista filimka.

3. Naqshadeynta Dusha Sare ee Wajahaysa Balaasmaha

Dahaarka qaybinta gaaska sare wuxuu si toos ah uga shaqeeyaa gobolka wax-soo-saarka balaasmaha wuxuuna si joogto ah ula kulmaa:

● Xagjiriinta plasma-da ee fal-celinta leh

● Waxsoosaarka hoos u dhigista

● Tamarta RF

● Gaasaska nadiifinta qolka

● Wareegyada habka heerkulka sare

Si loo taageero xasilloonida qolka muddada dheer, dusha sare ee dahaarka waxaa loogu talagalay in lagu yareeyo:

● Soo saarista walxaha

● Nabaad-guurka dusha sare

● Xasillooni la'aan balaasmaha ah

● Kala-goynta meelaynta

● Wareejinta wasakhda

Dusha sare ee quartz-ka siman ayaa sidoo kale ka caawisa hagaajinta nadiifinta qolka iyo soo celinta habka inta lagu jiro socodsiinta wax soo saarka ee dheeraadka ah.

4. Loo farsameeyay Xasiloonida Habka Konduktarka

Si ka duwan qaybaha quartz-ka warshadaha ee caadiga ah, dahaarka qolka semiconductor-ka waa inay ilaaliyaan iswaafajinta habka adag marka la eego xaaladaha wax soo saarka ee aadka loo xakameeyey.

Dahaarka AMAT 0200-36680 waxaa loo qaabeeyey inuu taageero:

● Waxqabadka habka PECVD oo deggan

● Astaamaha dab-shidka balaasmaha ee joogtada ah

● Waqtiga gaaska la xakameeyey

● Hoos u dhaca qulqulka qolka

● Soo noqnoqoshada wafer-ilaa-wafer oo la hagaajiyay

Arrimahani waa kuwo muhiim u ah jawiga wax soo saarka semiconductor-ka ee horumarsan halkaas oo midnimada habka ay si toos ah u saamayso wax soo saarka iyo waxqabadka qalabka.

AMAT 0200-36680 Upper Gas Dist Liner waa qayb ka mid ah qolka quartz-ka oo saafi ah oo loogu talagalay nidaamyada habka semiconductor PECVD iyo CVD. Qaab-dhismeedkeeda oo si sax ah loo farsameeyay wuxuu taageeraa xasilloonida qaybinta gaaska, xakamaynta balaasmaha, joogteynta RF, iyo yaraynta wasakhowga gudaha qolalka dhigista ee horumarsan.

Iyada oo ah qalab muhiim ah oo loo isticmaalo balaasmaha, dahaarka quartz-kan wuxuu door muhiim ah ka ciyaaraa ilaalinta soo noqnoqoshada qolka, midaynta habka, iyo isku halaynta wax soo saarka semiconductor-ka.

Semixlab waxay bixisaa qaybo dayactir semiconductor ah oo xirfad leh iyo qalab loo isticmaalo qolka si ay u taageeraan soo saarista wafer-ka horumarsan iyo hawlgallada dayactirka qalabka adduunka oo dhan.