Tuubo dahaarka leh oo TaC ah oo loogu talagalay Kobaca Keli ah ee SiC

Tuubada lagu dahaadhay TaC ee koritaanka kelida ah ee SiC waa qayb qaab-dhismeed heerkul sare leh oo muhiim ah oo si gaar ah loogu talagalay nidaamyada koritaanka kelida ah ee SiC ee horumarsan, gaar ahaan kuwa ku salaysan habka Gaadiidka Uumiga Jirka (PVT). Semixlab, waxaan u habeynay badeecadan si ay u buuxiso shuruudaha deegaanka ee aadka u adag ee koritaanka casriga ah ee kiristaalka SiC, halkaas oo xasilloonida kulaylka, firfircoonida kiimikada, iyo xakamaynta wasakhowga ay si toos ah u go'aamiso tayada kiristaalka, joogteynta wax soo saarka, iyo cimriga qalabka.

Inta lagu jiro koritaanka SiC PVT, deegaanka gudaha wuxuu leeyahay heerkul aad u sarreeya (oo ka sarreeya 2300 °C) iyo marxalad uumi falgal ah oo hodan ku ah silicon. Xaaladahan oo kale, qaybaha garaafka caadiga ah waxay u nugul yihiin daxalka kiimikada, falgallada dulinka, iyo sii deynta wasakhda - kuwaas oo dhammaantood waxyeeleeya xasilloonida gaadiidka uumiga iyo jebinta daahirnimada kiristaalka. Tuubooyinka dahaarka leh ee TaC waxay u adeegaan sidii is-dhexgal ilaalin iyo shaqeyneed oo ku yaal aagga heerkulka sare, iyagoo sameeya waddo gaadiid uumi oo kiimiko ahaan aan firfircoonayn oo qaab-dhismeed ahaan deggan oo u dhaxaysa walxaha isha iyo kiristaalka abuurka.

Iyadoo lagu dahaadhay substrate-ka garaafiga karbaydka tantalum-ka ee saafiga ah (TaC), dahaadhku wuxuu si wax ku ool ah uga soocaa substrate-ka garaafiga ee ka samaysan uumiga silicon-ka iyo kaarboonka ee daxalka leh. Xasiloonida heerkulka ee gaarka ah ee TaC iyo cadaadiska uumiga ee aadka u hooseeya ee heerkulka koritaanka SiC waxay si weyn u xakameeyaan burburka walxaha iyo sameynta walxaha. Tani waxay si toos ah gacan uga geysataa jawi korriin oo nadiif ah, taasoo yaraynaysa khatarta ah in si aan ula kac ahayn loo soo bandhigo wasakh iyo cillado kiristaalo ah sida tuubooyinka yaryar ama qaab-dhismeedka polymorphic-ka aan caadiga ahayn.

Marka laga eego dhinaca xakamaynta habka, tuubooyinka dahaarka leh ee TaC waxay door muhiim ah ka ciyaaraan ilaalinta xaaladaha gaadiidka uumiga ee deggan oo soo noqnoqonaya. Dusha sare ee gudaha ee siman oo u adkaysta daxalka waxay yareeyaan dhigista dulinka iyo qallooca joomatari inta lagu jiro wareegyada koritaanka, iyagoo gacan ka geysanaya ilaalinta qulqulka gaaska ee joogtada ah iyo isku dheelitirka goobta kulaylka. Xasilloonidani waxay si gaar ah muhiim ugu tahay koritaanka ingots-ka SiC ee dhexroorka weyn leh, halkaas oo xitaa isbeddellada yaryar ee jawiga koritaanka ay horseedi karaan khasaaro wax soo saar ama kala duwanaansho wafer-ilaa-wafer ah.

Tuubooyinka dahaarka leh ee Semixlab ee TaC waxay ka kooban yihiin tixgelinno qoto dheer oo ku saabsan R&D si loo helo isku-dhejinta dahaarka, isku-midnimada dhumucda, iyo is-waafajinta ballaarinta kulaylka ee u dhexeeya TaC iyo graphite. Arrimahani waxay muhiim u yihiin hubinta daacadnimada dahaarka muddada dheer iyadoo la raacayo wareegga kulaylka ee soo noqnoqda, taasoo kordhinaysa cimriga qaybaha iyo yaraynta waqtiga aan la qorshayn ee foornada. Marka la barbardhigo tuubooyinka aan dahaarka lahayn ama kuwa leh dahaarka carbide ee kale, xalka dahaarka TaC wuxuu bixiyaa iska caabin sare oo ka dhan ah daxalka silicon wuxuuna si weyn u yareeyaa khatarta dahaarka dahaarka inta lagu jiro hawlgalka heerkulka sare ee dheer.

Maadaama warshadaha SiC ay u socdaan cabbirro waaweyn oo wafer ah, qeexitaanno cillado adag, iyo wax-soo-saar sare, isku halaynta qaybaha aagga kulul waxay noqotaa arrin muhiim ah oo saameyn ku leh tartanka wax-soo-saarka. Tuubada lagu dahaadhay TaC ee kobaca kiristaalka keli ah ee SiC waxay u taagan tahay xal hal-abuur leh oo wanaajisa xasilloonida habka, hagaajisa tayada kiristaalka, oo awood u siisa hawlgal muddo dheer ah oo la saadaalin karo. Semixlab, waxaan u dhignaa badeecadan qayb awood u leh halkii aan ka ahaan lahayn wax la isticmaali karo oo aan firfircoonayn, oo awood u siisa soosaarayaasha kobaca kiristaalka inay gaaraan koboc kiristaalka keli ah ee SiC oo la miisaami karo, la celin karo, iyo saafinimo sare leh. Semixlab si daacad ah ayay u rajeyneysaa inay noqoto lammaanahaaga muddada dheer ee Shiinaha.