Sumeeyaha Meereyaasha ALD

Susceptor-ka ALD Planetary waa madal taageero wafer ah oo si sax ah loo farsameeyay iyo goob dhaqdhaqaaq oo si gaar ah loogu talagalay hababka khafiifka ah ee dhigista lakabka atomiga (ALD) ee loo isticmaalo wax soo saarka semiconductor-ka horumarsan. Hawsha ALD, koritaanka filimka waxaa xukuma falcelinta dusha sare ee atomiga, oo is-xakameysa. Sidaas darteed, gaarista dhigista joogtada ah ee wafers badan waxay u baahan tahay xakameyn buuxda oo ku saabsan isku-dhafka soo-gaadhista, xasilloonida heerkulka, iyo soo celinta habka. Iyada oo ah qayb muhiim ah, side-ka wafer-ka Planetary wuxuu dejiyaa aasaaska lagu gaarayo xaaladahan isagoo isku daraya dhaqdhaqaaqa wafer, maaraynta kulaylka, iyo xasilloonida habka gudaha qolka falcelinta ALD.

Nidaamka ALD gudahiisa, Haystaha Wafer-ka Meereyaasha wuxuu taageeraa waferyo badan wuxuuna ku kaxeeyaa isku-darka la xakameeyey ee wareegga meereyaasha iyo is-wareejinta. Dhaqdhaqaaqan firfircoon wuxuu celcelis ahaan ka soo saaraa cilladaha qolka ee ku jira sida qaybinta socodka horudhaca ah, waqtiga degenaanshaha falgalka, iyo heerarka heerkulka. Iyadoo la hubinayo in wafer kasta uu la kulmo xaalado isku mid ah oo dhigista ah inta lagu jiro wareegga ALD, susceptor-ka meereyaashu wuxuu xoojiyaa isku-midnimada dhumucda filimka gudaha iyo inta u dhaxaysa wafers-ka.

Faa'iidooyinka Suscepter-ka ALD ee Planetary

Xasiloonida kulaylka waxay ka dhigan tahay shaqo kale oo muhiim ah oo uu qabto side-ka meeraha. Hawsha ALD waxay u baahan tahay hawlgal heerkul cidhiidhi ah si loo ilaaliyo falcelinta dusha sare ee is-xakameysa loona hortago koritaanka dulinka CVD-ga oo kale. Susceptor-ka wafer-ku wuxuu bixiyaa wareejin kuleyl oo deggan, oo isku mid ah oo loo gudbiyo wafer-ka, isagoo yareynaya kala duwanaanshaha heerkulka maxalliga ah ee saameyn kara cufnaanta filimka, halabuurka, iyo sifooyinka korantada. Awooddani waxay si gaar ah muhiim ugu tahay hababka xasaasiga u ah heerkulka sida ALD-ka heerkulka hooseeya iyo ALD-ka Balaasma-ku-kordhiyay (PEALD).

Marka laga eego dhinaca wax soo saarka, ALD Planetary Suscepter waa furaha ugu muhiimsan ee wax soo saarka ALD ee la miisaami karo oo la isku halleyn karo. Iyada oo la xoojinayo isku-dheellitirka dufcadda, la dhimayo isku-dheellitirka filimka, iyo taageeridda xakamaynta heerkulka deggan, waxay ka caawisaa warshadaha inay gaaraan wax-soo-saar sare, xaddidaadda habka oo la adkeeyo, iyo kharashka guud ee lahaanshaha oo hooseeya. Semixlab, ALD Planetary Suscepter waxay muujinaysaa fahamkeenna qoto dheer ee fiisigiska habka ALD, is-dhexgalka qalabka, iyo baahiyaha dhigista filimka baaxadda weyn. Waxay bixisaa xal la isku halleyn karo oo loogu talagalay tignoolajiyada dhigista filimka khafiifka ah ee jiilka soo socda. Waxaan si daacad ah u rajeyneynaa inaan noqono lammaanahaaga muddada-dheer ee Shiinaha.