Susceptor-ka dahaarka leh ee CVD SiC ee loogu talagalay MOCVD Epitaxy

Susceptor-ka Garaafiga ee CVD SiC ee loogu talagalay MOCVD Epitaxy 2

Susceptor-ka Graphite-ka ee CVD SiC ee loogu talagalay MOCVD Epitaxy

Semixlab, waxaan ku takhasusnay soo saarista susceptors-ka graphite-ka ee dahaarka leh ee CVD SiC kuwaas oo loogu talagalay hababka adag ee MOCVD epitaxy. Iyada oo ah qayb muhiim ah oo gudaha fal-galiyaha ah, susceptor-ku wuxuu si toos ah u saameeyaa isku-dhafka heerkulka, tayada filimka, iyo xasilloonida guud ee habka inta lagu jiro koritaanka epitaxial. Badeecadahayagu waxay isku daraan substrates-ka isostatic graphite ee saafiga ah oo leh dahaar cufan oo kiimiko ah oo la shubay (CVD) silicon carbide (SiC), taasoo keenaysa iska caabin aad u fiican oo ku wajahan miridhka, soo saarista walxaha, iyo burburka kulaylka xaaladaha geedi socodka ee aadka u daran. Waxaan rajeyneynaa inaad sii wadato baaritaankaaga.

WEYDIISASHADA

Description

Susceptor-ka garaafiga ee Semixlab CVD SiC ee dahaaran waxaa loo sameeyay hal ujeedo - si loo ilaaliyo xasilloonida epitaxy marka wax walba oo kale la riixo ilaa xadka. Wax soo saarka casriga ah ee MOCVD, halkaas oo heerkulku ka sarreeyo 2000°C iyo daaqadaha habka ay sii kordhayaan cidhiidhiga, xitaa xasillooni darrada dusha sare ee yar ayaa u tarjumi karta cillado heer wafer ah. Halkan waa meesha dahaarka SiC ee runtii cufan oo isku mid ah uu noqdo mid muhiim ah.

Iyada oo isku daraysa garaafit cufnaanta sare leh iyo habka kaydinta uumiga kiimikada ee si adag loo xakameeyey, Semixlab waxay bixisaa dahaar si joogto ah u dhaqma wareegyada wax soo saarka ee dheer, taasoo ka caawinaysa macaamiisha inay ilaaliyaan wax soo saarka halkii ay si joogto ah dib ugu hagaajin lahaayeen.

Halkee ayay Dhab ahaantii Muhiim u tahay?

Deegaannada wax soo saarka dhabta ah, susceptors-ka laguma qiimeeyo sida ay u egyihiin - laakiin inta ay xasilloon yihiin. Inta lagu jiro epitaxy GaN ama SiC, soo-gaadhista NH₃, H₂ iyo heerarka kulaylka sare ayaa si joogto ah u weerara dusha sare ee dahaarka. Dahaarka heerka hoose wuxuu bilaabaa inuu muujiyo dildilaacyo yaryar, daadinta walxaha, ama xitaa dildilaac.

Dahaarka SiC ee Semixlab waxaa loo sameeyay inuu iska caabiyo qaababkan cilladaysan. Qaab-dhismeedka cufan wuxuu yareeyaa gelitaanka gaaska, halka isku-dhejinta xooggan ee u dhaxaysa dahaarka iyo substrate-ka graphite ay ka hortagto diirka marka la marayo wareegga kulaylka ee soo noqnoqda. Tani waa sababta macaamiil badan aysan ugu beddelan waxqabadka maalinta koowaad - laakiin si joogto ah ka dib boqolaal wareeg.

Dhaqanka Maaddada ee Xaaladaha Adag

ISBARBARDHIGGA QAAB-DHISMEEDKA DAAHA SiC Dahaar cufan, tayo sare leh iyo dahaar daloolo leh, tayo hoose leh

Dahaarka SiC ee la isku halleyn karo laguma qeexo hal lambar - waa sida walaxdu u istaagto marka wax walba oo geeddi-socodku uu xadka saarayo.

Heerkulka ka sarreeya 2200°C, dahaadhku wali wuxuu u baahan yahay inuu ahaado mid sugan, iyada oo aan lahayn qaab-dhismeed ama burbur. Isla mar ahaantaana, xaaladda dusha sare waxay ka muhiimsan tahay sida ay u muuqato warqadda. Haddii dusha sare ay aad u qallafsan tahay, socodka gaaska wuxuu noqon karaa mid aan degganayn; haddii uu aad u siman yahay laakiin gudaha daloolo leh, dahaadhku wuxuu ku sii jiri karaa wareegyo soo noqnoqda.

Semixlab waxay diiradda saareysaa ilaalinta dheelitirkan. Dahaarka ayaa ku filan inuu xannibo gelitaanka gaaska, halka heerka wasakhda la hayo si aad u hooseeya si looga fogaado soo bandhigida doorsoomayaal aan loo baahnayn inta lagu jiro epitaxy. Dhab ahaantii, waxa tani ka dhigan tahay waa mid fudud - dusha sare way xasilloon tahay, geeddi-socodkuna wuxuu sii ahaanayaa mid joogto ah laga bilaabo hal mar ilaa kan xiga.

Qalabka Dhabta ah ee Lagu Dhisay

QALABKA GERAFIITKA EE DAAHA LEH EE CVD SiC OO LAGU HABEEYAY QAABKA QALABKA EE KALA DUWAN EE MOCVD

Badeecadan waxaa si weyn loogu isticmaalaa goobaha epitaxy ee caadiga ah, oo ay ku jiraan qaabaynta fal-galayaasha meeraha iyo kuwa toosan.

Halkii ay ka bixin lahayd qayb guud, Semixlab waxay ku shaqaysaa iyadoo ku saleysan xaaladaha habka dhabta ah - oo ay ku jiraan muuqaalka heerkulka, naqshadeynta socodka gaaska, iyo cabbirka wafer - si loo hubiyo iswaafajinta laga bilaabo bilowga.

Maxay Macaamiishu Ka Faa'iidaystaan Waqti Ka Dib?

Qalabka Epitaxy ASM

Waqti ka dib, farqiga wuxuu ka muuqanayaa qeexitaannada, laakiin wuxuu ka muuqanayaa hawlgallada.

Macaamiishu waxay caadi ahaan soo sheegaan qaybinta dhumucda epitaxial oo deggan, qaybo yar, iyo muddooyin dayactir oo dheer. Halkii laga beddeli lahaa ama habayn lahaa habka oo joogto ah, wax soo saarku wuxuu noqdaa mid la saadaalin karo - taasoo ugu dambeyntii hoos u dhigaysa wadarta kharashka lahaanshaha.

Tani waxay si gaar ah muhiim ugu tahay codsiyada mugga sare leh sida aaladaha korontada iyo wax soo saarka yar-yar ee LED-ka, halkaas oo joogtayntu ay si toos ah u saamayso faa'iidada.

Habka Habaynta

CVD SiC QALABKA GRAPHITE EE DAAHA LEH CABBIRKA GEEMETRIYADA BADAN EE DHUUMARKA DAAHA SAXDA AH

Falgal kasta si kala duwan ayuu u dhaqmaa, waana sidoo kale falgaluhu.

Semixlab waxay bixisaa xalal gaar ah oo ku salaysan nooca fal-galiyaha, cabbirka wafer-ka, iyo shuruudaha habka. Laga bilaabo hagaajinta dhumucda dahaarka ilaa hagaajinta joomatari, faahfaahin kasta waxaa loo hagaajiyay si ay ula jaanqaado xaaladaha wax soo saarka dhabta ah - ma aha oo kaliya sawirrada.