All Categories
CVD Tantalum Carbide (TaC) Dahaarka

CVD Tantalum Carbide (TaC) Dahaarka

Hoyga> Alaabta > Daboolka CVD > CVD Tantalum Carbide (TaC) Dahaarka

Saxannada garaafka ee dahaarka leh ee TAC ee daloola leh ee loogu talagalay kobaca kiristaalka keli ah ee SiC
Saxanka garaafitka ee dahaarka leh ee TAC oo daloola
Saxannada garaafka ee dahaarka leh ee TAC ee daloola leh ee loogu talagalay kobaca kiristaalka keli ah ee SiC
Saxanka garaafitka ee dahaarka leh ee TAC oo daloola

Saxannada garaafka ee dahaarka leh ee TaC ee daloola leh ee loogu talagalay kobaca kiristaalka keli ah ee SiC


Saxannada garaafka ee dahaarka leh ee Semixlab TaC waa qaybo heer sare ah oo ku yaal aagga kulul ee loo sameeyay hababka kobaca kiristaalka ee silicon carbide (SiC), gaar ahaan nidaamyada gaadiidka uumiga jirka (PVT). Iyagoo isku daraya qaab-dhismeedka garaafka daloolsan ee la xakameeyey iyo dahaarka tantalum carbide ee kiimikada aan firfircoonayn, saxannadani waxay awood u siinayaan nidaaminta gaadiidka uumiga ee deggan iyadoo la ilaalinayo substrate-ka garaafka laga bilaabo nabaad-guurka kiimikada iyo soo saarista walxaha ee jawiga heerkulka aadka u sarreeya. Loogu talagalay in lagu taageero gaadiidka tirada isku midka ah iyo xasilloonida goobta kulaylka, saxannada garaafka ee dahaarka leh ee TaC waxay gacan ka geystaan ​​​​xakamaynta is-dhexgalka koritaanka ee la hagaajiyay, midnimada kiristaalka ee la xoojiyay, iyo khatarta wasakheynta oo yaraatay inta lagu jiro koritaanka SiC boule ee dheer. Waxaan rajeyneynaa weydiintaada.

Description

Maadaama kobaca kiristaalka keli ah ee silikoon carbide (SiC) uu sii wado inuu u wareego dhexroorka waaweyn iyo xakamaynta cilladaha adag, xasilloonida iyo daahirnimada qaybaha aagga kulul ayaa noqday kuwo muhiim u ah wax soo saarka kiristaalka guud iyo waxqabadka qalabka. Disks-yada garaafiga ee dahaarka leh ee TaC (Tantalum Carbide) ee daloola leh waxaa loo sameeyay sidii qaybo shaqo oo horumarsan oo ku jira habka koritaanka kiristaalka ee gaadiidka uumiga jirka (PVT) SiC, iyagoo door muhiim ah ka ciyaaraya nidaaminta gaadiidka uumiga, xasilinta goobta kulaylka, iyo xakamaynta wasakhowga.

Deegaannada koritaanka kiristaalka keli ah ee SiC ee ku shaqeeya heerkul aad u sarreeya oo caadi ahaan ka sarreeya 2000 °C, qaybaha garaafka caadiga ah waxay u nugul yihiin nabaad-guurka kiimikada, hoos u dhigista kaarboonka, iyo soo saarista walxaha marka la soo bandhigo noocyada uumiga ee ka kooban silikoon ee falcelinta leh. Saxannada garaafka ee TaC ee daloolsan ee Semixlab waxay wax ka qabtaan caqabadahan iyagoo isku daraya substrate graphite daloolsan oo si taxaddar leh loo farsameeyay oo leh dahaar TaC oo saafi ah oo isku habboon. Naqshaddani waxay bixisaa labadaba marin u helidda gaaska la xakameeyey iyo caqabad kiimiko ah, taasoo suurtogalinaysa maaraynta saxda ah ee qulqulka uumiga ee ka kooban Si- iyo C ee u dhexeeya walxaha isha iyo is-dhexgalka koritaanka kiristaalka.

Gudaha korriinka, saxannada graphite-ka ee dahaarka leh ee TaC waxay u shaqeeyaan sidii habeeyayaasha socodka uumiga iyo habeeyayaasha faafinta. Qaab-dhismeedka daloolada isku xiran wuxuu u oggolaanayaa gudbinta la xakameeyey ee noocyada sublimated iyadoo la xakameynayo socodka uumiga qasan iyo kala-soocidda uruurinta maxalliga ah. Gaadiidkan tirada badan ee la xakameeyey wuxuu si toos ah uga qayb qaataa is-dhexgalka koritaanka oo isku mid ah, hagaajinta isku-dheellitirka dhumucda radial, iyo qaab-dhismeedka kiristaalka ee la xoojiyay. Isla mar ahaantaana, dahaarka TaC wuxuu ka soocaa graphite-ka hoose isdhexgalka kiimikada tooska ah ee uumiga Si, isagoo si weyn u yareynaya isticmaalka graphite, burburka dusha sare, iyo wasakheynta la xiriirta kaarboonka inta lagu jiro socodka koritaanka dheeraadka ah.

Heerkul ahaan, barta dhalaalka ee gaarka ah ee TaC (≥3880℃) iyo xasilloonida waxay hubiyaan daacadnimada qaab-dhismeedka iyo isku-xidhka dahaarka iyadoo la marayo wareegga kulaylka ee soo noqnoqda. Qaab-dhismeedka daloolada leh wuxuu sii kordhiyaan hagaajinta iska caabbinta kulaylka ee maxalliga ah, isagoo gacan ka geysanaya xasilinta heerarka heerkulka axial iyo radial ee aagga kulul. Dhexdhexaadintan kulaylka ayaa si gaar ah faa'iido ugu leh koritaanka boule-ka SiC ee dhexroorka weyn, halkaas oo xasilloonida is-dhexgalka iyo isku-dheelitirka kulaylka ay muhiim u yihiin yareynta sameynta tuubooyinka yaryar, kala-goysyada diyaaradda hoose, iyo cilladaha kale ee crystallographic.

Marka laga eego dhinaca xakamaynta wasakhowga, saxannada garaafka ee dahaarka leh ee TaC waxay bixiyaan faa'iido weyn marka loo eego qaybaha aan dahaarka lahayn ama kuwa caadiga ah ee dahaarka leh. Lakabka TaC ee cufan wuxuu si wax ku ool ah u xakameeyaa boodhka garaafka iyo sii deynta walxaha, isagoo taageeraya heerarka wasakhda asalka hoose iyo jawi korriin oo nadiif ah. Tani waxay u tarjumeysaa daahirnimo kiristaal oo la hagaajiyay, khatarta nucleation-ka cilladaysan oo yaraaday, iyo wax soo saar wafer oo hooseeya oo sarreeya.

Semixlab waxay naqshadeysaa oo soo saartaa saxannada graphite-ka ee dahaarka leh ee TaC iyadoo la adeegsanayo hababka dahaarka ee la xakameeyey kuwaas oo dheellitira dhumucda dahaarka, haynta daloolka, iyo qoto dheeraanta gelitaanka dahaarka. Tani waxay hubineysaa xasilloonida muddada dheer ee u gudubka iyada oo aan la xannibin daloolka, iyadoo la ilaalinayo astaamaha gaadiidka uumiga ee joogtada ah inta lagu jiro cimriga adeegga qaybta. Badeeco kasta waxaa lagu sameeyaa iswaafajin ku saabsan naqshadaha foornada SiC PVT ee caadiga ah waxayna ku habboon tahay labadaba nidaamyada koritaanka kiristaalka ee cabbirka cilmi-baarista iyo mugga wax soo saarka.

Adeegyada aan bixino

Dukaanka wax soo saarka Semixlab

lama yaqaan

WEYDIISASHADA

Qaybaha kulul