Kuleyliyaha garaafiga ee TaC dahaarka leh

Maxaad u doorataa Semixlab?

Semixlab waxay ku siin kartaa kuleyliyaha garaafyada dahaarka leh ee TaC cabbirada la habeeyey iyo tafatirka ku saleysan moodooyinka qalabka gaarka ah ee macaamiisha iyo shuruudaha nidaamka. Fadlan nala soo xiriir si aad u hesho liis faahfaahsan oo cabbirro farsamo, oo ay ku jiraan laakiin aan ku xaddidnayn:

- Dulqaadyada cabbirka

- Heerkulka shaqada ugu badan

- Xogta hantida jirka sida kulaylka kuleyliyaha

- Darajooyinka garaafka iyo nadiifnimada

- Dhumucdiisuna waxay daahan TaC kala duwan iyo shuruudaha labbiska

Tan ka sii muhiimsan, walxaha kuleylka Semixlab waxay ka samaysan yihiin substrate graphite ah oo nadiif ah oo lagu dahaadhay dahaarka sare ee TaC (Tantalum Carbide), kaas oo bixiya isku-darka kulaylka kuleylka heersare ah iyo Tani waxay isku daraysaa kulaylka heerkulbeegga heer sare ah iyo xasilloonida heerkulka sare. Waxaan isticmaalnaa agab garaafyo ah oo ka socda saddexda alaab-qeybiye ee caanka ah ee adduunka ugu sarreeya, lammaaneyaasheenna deggan muddada dheer waxaa ka mid ah SGL (Jarmalka), Toyo Tanso (Japan), iyo Mersen (France), si loo hubiyo in badeecadayadu ay leeyihiin hubin tayo sare leh oo ka imanaya isha. Isla mar ahaantaana, habka daahan ee Semixlab ee TaC waa heerka ugu horreeya ee warshadaha, iyada oo cufan, adhesion iyo caabbinta daxalka la xaqiijiyay iyada oo loo marayo wareegyo badan oo ansixinta habka, waxaana si ballaaran loo adeegsaday qalabka sare ee SiC epitaxial, kaas oo si weyn loogu kalsoon yahay macaamiisha.

Codsiga Muhiimka ah: Saldhig Kulul oo Halis ah oo ku yaal Qalabka SiC Epitaxy

Semixlab's TaC-dahaarka kuleyliyeyaasha garaafyada ayaa door muhiim ah ka ciyaara qalabka epitaxy SiC. Shaqadeeda ugu weyn waa in ay u dhaqanto sida saldhigga nidaamka kuleyliyaha, qaadista iyo kuleylinta Wafer Susceptor ee korkiisa.

Heerarka qaab dhismeedka: Qolka caadiga ah ee SiC epitaxial, qaabdhismeedku badanaa waa sida soo socota:

1. Kuleyliyaha garaafiga ee TaC-dahaarka leh (Semixlab Product): Waxay ku yaalliin heerka hoose, waa isha ugu weyn ee kulaylka.

2. Wafer Susceptor: Waxaa la dulsaaraa kuleyliyaha dushiisa, susceptor wafer sidoo kale waxaa badanaa laga sameeyaa graphite daahirnimo sare leh ama walxo kale oo heerkul sare u adkaysta waxaana laga yaabaa in la dahaadho. Godadkeeda saxda ah ee nashqadeysan waxaa loo isticmaalaa in lagu qabto waferrada SiC.

3. SiC Wafers (Wafer): Waxaa lagu dhejiyay saxanka side, waxay yihiin substrate-ka kobaca ugu dambeeya ee lakabka epitaxial.

Habka Kululaynta iyo Caqabadaha:

1. Shuruudaha Heerkulka Sare: Koritaanka SiC epitaxial wuxuu caadi ahaan u baahan yahay heerkul aad u sarreeya (sida caadiga ah in ka badan 1500∘C ama ka sarreeya) si loo hubiyo in si hufan u burbursan yahay gaaska hore iyo samaynta lakabyo SiC ah oo tayo sare leh, hal-crystalline ah oo ku yaal dusha sare ee maraqa. Kuleyliyeyaasha Semixlab waxay ku saleysan yihiin substrate nadiif sare ah, garaaf heerkul sare leh si loo hubiyo in heerkulka sare ee loo baahan yahay la gaaro loona joogteeyo si degdeg ah oo isku mid ah. Kuleyliyaha Semixlab wuxuu isticmaalaa garaafka saafiga sare leh oo leh kulaylka kulaylka sare sida substrate si loo hubiyo in heerkulka sare ee loo baahan yahay la gaaro oo loo ilaaliyo si dhakhso ah oo isku mid ah.

2. Labbisnimadu waa muhiim: Labbiska heerkulka kuleyliyaha ayaa si toos ah u saameeya qaybinta heerkulka saxanka side, taas oo iyaduna go'aamisa joogtaynta heerka korriinka, dhumucda lakabka epitaxial, iyo xoojinta doping-ka dhibic kasta oo ku taal waferka. Heerkul kasta oo heerkulbeeg ah ayaa u horseedi kara cillado kordhaysa ee lakabka epitaxial iyo kala duwanaansho weyn ee waxqabadka qalabka, iyo Semixlab waxay wanaajisaa qaybinta kulaylka ee kuleyliyaha si loo yareeyo kala duwanaanshaha heerkulka iyada oo loo marayo naqshad casri ah iyo habka wax soo saarka.

3. Caqabadaha Degganaanshaha Kiimikada: Gaasaska aadka u wasakhaysan (tusaale, silane, propane, hydrogen, iyo dopant gases) ayaa la dhex mara habka epitaxial. Heerkulka sare, gaasaskani waxay aad ugu dagaalan yihiin garaafka caadiga ah, taasoo keenta dhaawac degdeg ah oo ku yimaada qaybaha graphite iyo sii daaya qaybo kaarboon ah oo wasakheeya qolka falcelinta iyo waferrada, si aad ah u saameeya tayada lakabka epitaxial iyo dhalidda qalabka.

Semixlab TaC Xalka Daboolka iyo Faa'iidooyinka:

Waxay ka jawaabeysaa caqabadahan in Semixlab ay shaqaaleysiiso tignoolajiyada sare ee Tantalum Carbide (TaC). Dahaarka TaC wuxuu siinayaa kuleyliyeyaasha garaafyada waxqabadka sare:

1. Wax-soo-saarka walxaha la dhimay iyo wax-soo-saarka la hagaajiyay: Iyada oo si wax ku ool ah looga hortagayo nabaad-guurka iyo xoqidda substrate-ka garaafyada, TaC Coating waxay yaraynaysaa isha maadada particulate ee qolka habsocodka ee isha. Iyada oo si wax ku ool ah looga hortagayo nabaad-guurka iyo xoqidda substrate-ka graphite, dahaarka TaC wuxuu yareynayaa ilaha walxaha qayb ka ah ee qolka geeddi-socodka ee isha, taas oo muhiim u ah wax soo saarka tayada sare ee SiC epitaxial wafers oo leh cufnaanta cilladda hoose, oo si toos ah uga qaybqaata dhalidda qalabka ugu dambeeya.

2. Firfircoonaan la'aan kimikal oo heer sare ah iyo iska caabbinta daxalka: Dahaarka TaC ee xasilloonida kiimikaad ee aadka u sarreeya iyo cadaadiska uumiga hooseeya ayaa ka ilaalinaya substrate-ka garaafka in uu ka fal-celiyo gaaska hab-socodka heerkulka sare iyo jawiga daxalka ah. Tani waxay si weyn u yaraynaysaa wasakheynta walxaha ay sabab u tahay nabaad-guurka kuleyliyaha, waxay hubisaa nadiifnimada deegaanka koritaanka epitaxial, waxayna wanaajisaa tayada lakabka epitaxial iyo isku halaynta aaladda.

3. Habka Xasiloonida iyo Ku-noqoshada: Kuleyliyaha joogtada ah, ee cimriga dheer waa aasaaska dufcaddii dhexda (dufcad-ilaa-dufcad) iyo hab-socodka xasilloonida iyo dib-u-celinta, kaas oo kuleyliyeyaasha garaafyada-dahaarka leh ee Semixlab ay bixiyaan, taasoo ka dhigaysa habkaaga SiC epitaxial mid la isku halayn karo oo la xakameyn karo.

4. Nolosha oo la dheereeyey iyo kharashaadka hawlgelinta oo la dhimay: Cufnaanta iyo ku dhejinta xoogga leh ee daahan TaC waxay si weyn u wanaajisaa cimriga kuleyliyaha garaafka, kordhinta nolosheeda adeeg ee shuruudaha shaqada. Tani waxay ka dhigan tahay in yaraynta wakhtiga dayactirka iyo beddelka joogtada ah ee alaabta alaabta, taas oo si wax ku ool ah u yaraynaysa wadarta qiimaha lahaanshaha macmiilka.

5. Ilaalinta Hab-dhaqanka Kulaylka ee Wanaagsan: Habka daahan TaC ee si taxadar leh loo hagaajiyay wuxuu bixiyaa ilaalin aad u fiican iyadoo la ilaalinayo inta ugu badan ee suurtogalka ah ee nadiifinta sare ee garaafka substrate-ka kulaylka wanaagsan, hubinta in kuleylku si hufan oo isku mid ah loogu wareejiyo saxaarad qaade wafer iyo wafers korka si loo xakameeyo heerkulka saxda ah.