Doon Wafer ah oo Nadiif ah oo Sare leh

Xalalka Goobta Kulaylka ee La Hagaajiyay ee loogu talagalay 4-12 Inji

Maxay shirkadaha hormuudka ka ah Fab ay uga wareegayaan Quartz una beddelayaan SiC Boats?

Ka sarreeya quartz-ka oo si lama huraan ah ugu fashilmaya 1150∘C sababtoo ah kala-goyn, doonyaheena SiC waxay ilaaliyaan saxnaanta joomatari ee buuxda marka ay ku jiraan cadaadiska kulaylka daran. Iyada oo ay ugu wacan tahay cufnaanta sare, matrix-ka CVD SiC wuxuu joojiyaa daadinta walxaha ku jira jidkiisa. Waxaa si gaar ah loogu dhisay si loo maareeyo baahiyaha 'eber-excursion' ee hababka wax-soo-saarka sub-micron-ka maanta.

Qaybahayagu waxay si fiican uga shaqeeyaan nadiifinta HF/HNO3 ee gardarrada badan marka loo eego quartz, waxayna sii jiraan waqti dheer waxayna hoos u dhigaan kharashyada beddelka. Iyadoo la adeegsanayo maaraynta kulaylka ee la hagaajiyay si loo helo kuleyl degdeg ah, oo siman, waxay bixiyaan xasilloonida habka loo baahan yahay ee loogu talagalay wafers 4-inji ilaa 12-inji ah oo ku jira wax soo saarka mugga sare leh.

Aragtida Khubarada

Si ka duwan doomaha graphite-ka ee dhaqameed ee si weyn ugu tiirsan dahaarka heerka dusha sare, qaab-dhismeedka Semixlab ee monolithic SiC-on-SiC wuxuu meesha ka saarayaa "is-waafaqla'aanta" qaab-dhismeedka u dhexeeya substrate-ka iyo maqaarka. Annagoo mideynayna isku-dhafka ballaarinta ee cutubka oo dhan, waxaan xallinay madax-xanuunka warshadaha ee daba-dheeraaday ee kala-goynta. Dharka mugga sare leh ee 8-inch iyo 12-inch, tani ma aha oo kaliya casriyeyn agab ah - waa kacaan TCO ah. Iyada oo cimri adeeg 5 jeer ka badan quartz-ka caadiga ah, doomahayaga adag ee SiC waxay u beddelaan kharashka la isticmaalo hanti wax soo saar muddo dheer ah.

Tilmaamaha Farsamada & Habaynta

Waxaan wax walba u habeyn karnaa si ay ugu habboonaato qalabkaaga gaarka ah ee foornada—ha ahaato mid toosan ama mid toosan—oo aan ula qabsan karno baahiyahaaga saxda ah ee maaraynta wafer-ka.

Codsiyada caadiga ah 

Doomahayaga SiC waxaa loo sameeyay xaaladaha ugu adag ee qurxinta. Waxay si fiican u hayaan qaabkooda inta lagu jiro Si/SiC Epitaxy inkastoo H2 la xoqayo, daahirnimadooda sarena waa badbaadiye nafta hababka faafinta halkaasoo wasakhdu ay khatar tahay. ALD iyo LPCVD, waxay u dhaqmaan sidii cuf kuleyl oo deggan si loo hubiyo in filimku si siman ugu shubmo dhammaan wafer-yada.

Shaxda habka CVD ee dahaarka doonta ee SiC, hubinta daahirnimada 7N iyo cufnaanta isku midka ah

1) 7N Nadiifnimo Aad u Sareysa (CVD Encapsulation) Halkii laga isticmaali lahaa dahaarka aasaasiga ah, waxaan isticmaalnaa daboolidda CVD SiC oo cufnaan badan leh si aan u xirno nadiifnimo caalami ah oo ah 99.99999%. Qalabka korontada ku shaqeeya sida IGBTs iyo MOSFETs, tani maaha ikhtiyaari - waa habka kaliya ee lagu joojin karo wasakhda birta ah (Fe, Ni, Cu) oo ka dhalata qulqulka daadashada masiibada ah.

2) Joomatari Sax ah oo lagu farsameeyay Slot-ka Ma sameyno "hal cabbir oo ku habboon dhammaan." Hadday tahay inaad u baahan tahay V-groove caadi ah ama U-slot gaar ah oo loogu talagalay maaraynta jilicsan, khafiifka ah ee wafer-ka, xarumahayaga CNC waxay u adkaystaan ​​​​dulqaad adag ±0.05mm. Saxnaantan xad dhaafka ah waxay dishaa gariirka wafer-ka ee isha waxayna yareysaa cadaadiska geeska inta lagu jiro wareejinta robot-ka xawaaraha sare leh.

3) Wareegga Shaqada ee La Hagaajiyay & Isku-dubaridka CTE Barta ugu weyn ee cilladaha doonyaha dahaarka leh waa kala-goynta. Waxaan tan ku xallinay annagoo hagaajinayna xoogga isku-xidhka dahaarka si uu si fiican ugu ekaado Isku-darka Ballaarinta Kulaylka (CTE) ee substrate-ka. Natiijadu ma tahay? Doon ku badbaado wareegga kulaylka aan kala joogsiga lahayn ee foornooyinka Oxidation iyo Diffusion iyada oo aan dahaarka la jajabin ama laga diirin walxaha salka.