Saxanka Qaybinta Gaaska ee Adag ee SiC

Waa maxay Saxanka Qaybinta Gaaska ee SiC ee Adag?

Saxan Qaybinta Gaaska ee Adag ee SiC, oo sidoo kale loo yaqaan Madaxa Qubeyska ee SiC ama Saxan Qaybinta Gaaska ee Silicon Carbide, waa qayb semiconductor ah oo si sax ah loo farsameeyay oo loogu talagalay in si siman loogu qaybiyo gaasaska habka gudaha qolalka habka faakuumka.

Si ka duwan saxannada qaybinta gaaska ee caadiga ah ee laga sameeyay quartz ama alumina, Saxanka Qaybinta Gaaska ee Solid SiC waxaa laga sameeyaa carbide silicon ah oo saafi ah oo saafi ah. Qaabkeeda godadka yaryar iyo kanaalada socodka gudaha oo si taxaddar leh loo qaabeeyey ayaa hubiya in gaaska isku mid ah la gaarsiiyo dusha sare ee wafer-ka, taasoo abuureysa jawi falcelin deggan oo loogu talagalay dhigista filimka khafiifka ah iyo hababka ka caawiya balaasmaha.

Doorka Habaynta Semiconductor-ka

Nidaamyada Kaydinta Uumiga Kiimikada (CVD), saxanka qaybinta gaaska wuxuu u adeegaa sida is-dhexgalka koowaad ee u dhexeeya keenista horudhaca iyo sameynta filim khafiif ah. Kala firdhinta gaaska ee isku midka ah ee ku wareegsan wafer-ka waxay suurtogal ka dhigaysaa heerarka dhigista joogtada ah, hagaajinta isku-midnimada dhumucda filimka, iyo soo celinta habka deggan. Gudbinta kulaylka ee aadka u fiican ee carbide-ka adag ee silicon waxay sii kordhisaa heerkulka qolka isku midka ah, taasoo gacan ka geysaneysa yaraynta heerarka kulaylka ee maxalliga ah ee saameyn kara koritaanka agabka iyo tayada filimka.

Kobaca epitaxial-ka ee Silicon Carbide (SiC), xaaladaha geedi socodka waxay badanaa ku lug leeyihiin heerkul sarreeya, jawi hodan ku ah haydarojiin, iyo kiimikooyinka horudhaca ah ee daxalka sida isku-dhafka siliconka ee koloriinaysan. Xaaladahan adag, Taarikada Qaybinta Gaaska ee Solid SiC waxay ilaaliyaan xasillooni cabbireed oo aad u fiican iyo iska caabin kiimiko ah iyagoo bixinaya qulqulka gaaska oo aad u siman oo ku baahsan substrate-ka. Tani waxay gacan ka geysaneysaa hagaajinta isku-dhafka dhumucda epitaxial, hoos u dhaca saameynta geesaha, cufnaanta cilladaha oo hooseysa, iyo tayada kiristaalka oo la xoojiyay - arrimo muhiim u ah aaladaha awoodda SiC ee waxqabadka sare leh.

Qalabka Plasma Enhanced Chemical Heap Deposition (PECVD), saxanka qaybinta gaaska wuxuu si joogto ah u qabtaa laba shaqo oo ah qayb gaas ah iyo elektrode u jeeda balaasmaha. Soo-gaadhista joogtada ah ee balaasmaha tamarta leh waxay u baahan tahay iska caabin gaar ah oo ku wajahan duqeynta ion, nabaad-guurka kiimikada, iyo soo saarista walxaha. Adkeysiga balaasmaha ee sarreeya ee SiC adag oo saafi ah wuxuu ka caawiyaa ilaalinta nadaafadda qolka iyo astaamaha balaasmaha deggan inta lagu jiro wareegyada wax soo saarka ee dheeraadka ah, yareynta soo noqnoqoshada dayactirka iyo hagaajinta helitaanka qalabka.

Hawsha Kala-soocidda Lakabka Atomiga ee Sare (ALD) waxay si gaar ah diiradda u saartaa xakamaynta garaaca gaaska ee saxda ah iyo isku-midnimada falcelinta. Saxnaanta cabbirka iyo astaamaha socodka ee la hagaajiyay ee Taarikada Qaybinta Gaaska ee Solid SiC waxay taageeraan beddelka degdegga ah ee horudhaca ah iyadoo la yareynayo mugga dhintay ee qolka. Awoodahani waxay awood u siinayaan koritaanka filimka qaabaysan ee aadka u siman, taasoo ka dhigaysa kuwo si gaar ah qiimo ugu leh qanjidhada semiconductor-ka ee horumarsan ee u baahan xakamaynta dhumucda atomka.

Taarikada Qaybinta Gaaska ee Adag ee SiC ayaa sidoo kale si weyn loogu isticmaalaa nidaamyada qodista balaasmaha, halkaas oo gaasaska habka gardarrada leh iyo balaasmaha cufnaanta sare ay si joogto ah u caqabad ku yihiin agabka qolka. Iska caabbinta daxalka ee gaarka ah iyo astaamaha soo saarista walxaha yar ee carbide silicon monolithic si weyn ayay u yareeyaan burburka qaybaha iyo khataraha wasakhowga, iyagoo gacan ka geysanaya ilaalinta xasilloonida habka iyo hagaajinta wax soo saarka wafer inta lagu jiro ololaha wax soo saarka ee dheer.

Semixlab waxay ka go'an tahay inay bixiso xalal carbide silicon ah oo tayo sare leh oo ka caawiya soosaarayaasha qalabka iyo warshadaha semiconductor-ka inay horumariyaan joogtaynta habka, yareeyaan wasakhowga, iyo inay kor u qaadaan waxtarka guud ee wax soo saarka.

La xiriir kooxdayada injineerinka si aad ugala hadasho xalalka Taarikada Qaybinta Gaaska ee Solid SiC ee loogu talagalay qalabkaaga habka semiconductor-ka.

Astaamaha jireed ee Solid SiC