Foornada kulul ee cadaadiska lagu buufiyo ee loogu talagalay isku xidhka abuurka kiristaalka SiC
Foornada Cadaadiska Kulul ee Semixlab ee loogu talagalay Xidhmada Seed ee SiC Crystal waxaa si gaar ah loogu farsameeyay socodka shaqada koritaanka kiristaalka silikoon carbide ee saxda ah, halkaas oo tayada isku xidhka abuurka-ilaa-substrate-ka ay si toos ah u go'aamiso hufnaanta kiristaalka, xasilloonida sublimation, iyo wax soo saarka wafer-ka. Nidaamkani wuxuu bixiyaa goobo kuleyl oo aad u siman, cadaadis dhidib ah oo si adag loo xakameeyey, iyo jawi faakiyuum aad u nadiif ah - xaalado lagama maarmaan u ah sameynta is-dhexgalka abuurka oo la yareeyay oo heerkul deggan ka hor koritaanka PVT ama Lely SiC ee wax laga beddelay. Waxaan soo dhaweyneynaa weydiintaada.
Description
Isku xidhka kiristaalka iniinyaha waa mid ka mid ah hababka muhiimka ah ee saameeya koritaanka kiristaalka. Iyada oo lagu salaynayo astaamaha isku xidhka kiristaalka iniinyaha, Semixlab waxay samaysay qalab gaar ah oo loogu talagalay in lagu xidho kiristaalka iniinyaha. Qalabkani wuxuu si wax ku ool ah u yareeyaa cillado kala duwan oo ka dhasha habka isku xidhka, taasoo hagaajinaysa wax soo saarka isku xidhka kiristaalka iniinyaha iyo tayada ugu dambeysa ee kiristaalka.
Ⅰ. Hordhac Qalabka Cadaadiska Kulul ee Ku Xiran Seed Crystal
1. Waxaa loo isticmaalaa isku xidhka kiristaalka abuurka ka hor koritaanka kiristaalka SiC;
2. Iniinyaha isku xidhan waxay ku dhegaan 2300°C iyagoon kala go'in, iyagoo gaaraya 100% isku xidhnaan xumbo la'aan ah oo leh fidsanaan sare iyo dusha sare ee wafer nadiif ah oo ka xor ah nuugista wasakhda;
3. Saxanka kuleylinta wuxuu adeegsadaa kuleyliyaha nooca saxanka u adkeysiga, isagoo hubinaya qaybinta heerkulka oo isku mid ah, hawlgal ammaan ah, iyo maaraynta isticmaalaha oo sahlan;
4. Dareemayaasha cadaadiska ee ku rakiban saxaaradda hoostiisa ayaa si sax ah u muujinaya cadaadiska lagu dabaqay shaqada.
II. Dulmar Guud oo ku saabsan Qalabka Saxanka Kulul ee Faakiyuumka ee Seed Crystal
Foornada kulul ee Semixlab Seed Crystal Vacuum Hot Press Foornada waxaa loogu talagalay in lagu cadaadiyo kuleyl oo lagu nadiifiyo kiristaalo abuurka carbide ee silicon oo lagu isticmaalo faakiyuum.
1. Qolka birta ah ee laba lakab leh ee biyaha qaboojiya ayaa si wax ku ool ah u yareeya heerkulka dusha sare ee foornada, wuxuuna yareeyaa khataraha heerkulka sare, wuxuuna yareeyaa saameynta deegaanka;
2. Awood u leh codsiga cadaadiska otomaatiga ah iyo haynta, rarista tartiib tartiib ah, iyo barokaca iyadoo la adeegsanayo kontorool otomaatig ah;
3. Qaabeynta nidaamyada faakuumka kala duwan waxay u oggolaanaysaa xulashada heerarka faakuumka kala duwan iyadoo lagu saleynayo shuruudaha habka;
4. Qaybinta cadaadiska oo isku mid ah iyo saxnaanta xakamaynta heerkulka sare;
5. Codsiga cadaadiska wuxuu adeegsadaa farsamooyinka riixitaanka farsamada saxda ah si loo helo keenista cadaadiska saxda ah oo deggan, hubinta hawlgal ammaan ah iyo iswaafajinta deegaanka;
6. Isku xirka guud ee u dhexeeya madaxa riixitaanka sare iyo usha riixitaanka wuxuu damaanad qaadayaa isbarbardhigga la qabsiga ee u dhexeeya madaxa sare iyo saxaaradda hoose inta lagu jiro riixitaanka, taasoo hubinaysa qaybinta cadaadiska isku midka ah;
7. Madaxa sare ee cadaadiska waxaa ku jira codsi cadaadis barkimo ah si loo helo xoog siman oo jilicsan iyada oo aan wax saameyn ah lahayn, taasoo ka hortagaysa jabka shaqada;
8. Dareemayaasha heerkulka oo lagu dhex daray is-dhexgalka saxanka wareejinta kulaylka oo leh koontaroolaha heerkulka, taasoo suurtogalinaysa heerkulka saxda ah ee kuleylka iyo xakamaynta barnaamijka;
9. Labada baaldi iyo madaxa sare ee cadaadiska ayaa ku jira aaladaha dahaarka si loo yareeyo luminta kulaylka.
Ⅲ. Waxqabadka iyo sifooyinka Qalabka Cadaadiska Kulul ee Seed Crystal Semixlab
1. Soo saarista faakuumka si tartiib tartiib ah oo leh heerka bamgareynta la xakameeyey;
2. Qol weyn oo loogu talagalay awood casriyeyn oo ballaaran;
3. Madaxa cadaadiska oo deggan oo leh hawlgal otomaatig ah;
4. Kor u qaadista cadaadiska iyo xakamaynta sii deynta oo leh jiirada cadaadiska otomaatiga ah iyo nidaaminta cuntada;
5. Xakamaynta heerkulka saxda ah oo leh wareegyo heerkul iyo cadaadis la barnaamijin karo;
6. Faakuumka, cadaadiska, iyo xuduudaha heerkulka ee la habeyn karo ee hababka isku xidhka kala duwan;
7. Isku xidhnaan cufan oo leh xumbo eber ah;
8. Heerka jabitaanka aadka u hooseeya—ku dhawaad jajab aan qalabku sababin;
9. Iswaafajinta: Waxay taageertaa wafers 6-12 inji ah;
10. Cadaadiska ugu badan ee hoos u dhaca: 1.6 T;
11. Faakuumka ugu dambeeya: 5 Pa (qabow);
12. Isku mid ahaanshaha heerkulka goobta kululaynta: <±3℃, σ<4 (200℃);
13. Isbeddelka cadaadiska: <0.5%.
sooc
Halbeegyada foornada kulul ee cadaadiska leh ee loogu talagalay isku xidhka abuurka
| Description | dhimaya |
| Koronto la'aan | Hal mar/220 V/50 Hz |
| Awoodda kuleylka ee la qiimeeyay | 5.6 KW |
| Jirka kuleylka | Saxanka kulul |
| Max. kulaylka heerkulka | 600 ℃ |
| Saxnaanta xakamaynta heerkulka joogtada ah. | ± 0.15 ℃ |
| Saxnaanta cabbirka heerkulka | 0.1 ℃ |
| Cabbirka qolka faakuumka | 700 x 710 mm |
| Ugu badnaan hoos u dhigista | 1,600 kg |
| Nooca madaxa shaabadda hoos loo dhigay | Madaxa shaabad adag |
| Saxnaanta xakamaynta xoogga hoos u dhaca | ±1.1 KG |
| Dhexroorka saxanka kulul ee kulul | Φ350 mm |
| Dhexroorka madaxa shaabadda hoos u dhaca | Φ350 mm |
| Qeexitaan ku habboon abuurka | 12 inji |
| Faakiyuum kama dambays ah oo hoos yimaada xaaladda qabowga | <5 Pa (qabow) |
| Habka xakamaynta heerkulka | Xakamaynta automatic |
| Habka heerkulka oo xanaf leh | Thermocouple |
| Awoodda la qiimeeyay ee korontada | 5.6 KW+ 2.3 KW |
| Habka Xakamaynta/Habka Xakamaynta Hoos u Dhaca | Xakamaynta otomaatiga ah ee HMI |
| Socodka biyaha qaboojinta | 15L/daqiiqo |
| Cabbirka cutubka ugu muhiimsan | X x 1,700 1,200 2,500 mm |
| Miisaanka cutubka ugu muhiimsan | 1,200 kg |
Dukaanka wax soo saarka Semixlab


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




