EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Semiconductor Quartz Flow Baffle
Semixlab Semiconductor Quartz Flow Baffle waa qayb si sax ah loo farsameeyay oo loogu talagalay in lagu habeeyo oo la mideeyo socodka gaaska gudaha CVD, LPCVD, PECVD, faafinta, iyo foornooyinka oksaydhka. Waxaa laga soo saaray quartz ultra-sare-sare leh (SiO₂, ≥99.99%), waxay hubisaa heerkulka xasilloon iyo qaybinta gaaska inta lagu jiro habaynta wafer, si wax ku ool ah u yaraynaysaa muuqaal la'aanta filimka, wasakhowga walxaha, iyo kaydinta xad-dhaafka ah ee maxalliga ah. Daah-furnaanteeda sare ee indhaha, caabbinta kulaylka gaarka ah, iyo dabeecadda wasakhda-la'aanta ah ayaa ka dhigaysa qayb lama huraan ah oo ku jirta semiconductor sare iyo qalabka SiC/GaN epitaxy.
Description
Ⅰ Astaamaha Qalabka iyo Dusha sare
● Qalab: silica isku qasan oo nadiif ah (synthetic ama quartz dabiici ah, daahir ≥99.99%).
● Iska caabbinta kulaylka: Waxqabadka xasilloon ee heerkul joogto ah ilaa 1200°C.
● Dhammaystirka dusha sare: Sagxadaha saxda ah ee aadka u jilicsan si looga hortago ku dheggan walxaha.
● Balaadhinta kulaylka: Kordhinta hoose ee fidinta (5.5×10⁻⁷/°C) waxay hubisaa xasilloonida cabbirka.
● Iska caabbinta Kiimikada: Gaasaska dilaaca sida HCl, NH₃, iyo SiH₄.
Qalafsanaan socodka kastaa wuxuu maraa kormeer adag oo loogu talagalay tayada dusha sare, saxnaanta cabbirka, iyo xakamaynta xumbo gudaha, hubinta nadiifnimada joogtada ah iyo isku halaynta qayb kasta oo wax soo saar ah.
Ⅱ Hawlaha muhiimka ah ee geedi socodka semiconductor
Quartz Flow Baffle wuxuu u adeegaa sidii kontoroolka qulqulka xudunta u ah iyo qaybta nidaaminta kulaylka gudaha qolalka habaynta heerkul sare. Shaqadeedu aad ayay uga fog tahay hagida gaasaska-waxa ay ka ciyaartaa door hawl-karnimo badan xasilinta deegaanka geeddi-socodka, kor u qaadida ka faa'iidaysiga walxaha, iyo hubinta isku-dhafka wafer-to-wafer.
1. Qaybinta socodka gaaska lebbisan
Nidaamyada ay ka midka yihiin LPCVD, PECVD, iyo epitaxy, gaarsiinta gaaska isku midka ah ayaa muhiim u ah gaaritaanka korriinka filimada khafiifka ah ee joogtada ah iyo qaybinta dopant. Quartz socodka quartz-ka si taxadar leh loo farsameeyay joomatari - oo ay ku jiraan marinkeeda socodka xagal, leexinta qalooca, iyo kala dheeraynta la hagaajiyay - waxay hubisaa in gaasaska falceliska ah ay si siman ugu firdhisan yihiin dusha sare ee waferka. Iyada oo la ilaalinayo qaabka socodka laminarka, qulqulka qulqulka ayaa hubinaya in wafer kasta oo dufcaddii ku dhex jirta uu la kulmo xaalado gaas oo isku mid ah, taas oo kor u qaadeysa xasilloonida dhalidda iyo joogtaynta aaladda.
2. Dejinta goobta kulaylka iyo dheelitirka wareejinta kulaylka
Inta lagu jiro hababka heerkulka sare sida oksaydhka kulaylka ama Si epitaxial koritaanka, xitaa kala duwanaansho yar oo qaybinta heerkulka waxay keeni kartaa cilladaha crystal, kala-baxa, ama walbahaarka filimka.
Quartz socodka qulqulka wuxuu u shaqeeyaa sidii dhexdhexaadiyaha kulaylka:
● Wuxuu jilciyaa heerkulbeegyada u dhexeeya bartamaha iyo cidhifka doonta waferka
● Waxay yaraynaysaa dheelitir la'aanta kulaylka ee foornada dhexdeeda
● Waxay yaraynaysaa shoogga kulaylka inta lagu jiro kor u kaca heerkulka iyo wareegyada kor u kaca
3. Xakamaynta Wasaqda iyo Nadiifadda Geedi socodka
Wax soo saarka semiconductor, xakamaynta wasakhda ayaa ugu muhiimsan. Wasakhaynta birta ah ama qaybtu waxay si ba'an u hoos u dhigi kartaa wax-soo-saarka aaladda. Quartz Flow Baffle, oo laga sameeyay silica isku-dhafka ah ee aadka u sarreeya ee nadiifka ah (SiO₂ ≥ 99.99%), ma soo bandhigayso ayoono macdan ah ama hadhaaga kaarboon qolka habka. Its siman, oogada aan dalool lahayn ka hortagtaa raasamaal ee byproducts falcelinta iyo daadinta qayb qayb. Tani waxay hubinaysaa xasilloonida fasalka-nadiifinta ee hababka muhiimka ah sida samaynta oksaydhka albaabka, faafinta doping, iyo kaydinta dielectric CVD.
Semixlab Quartz Quartz Flow Baffle ma aha oo kaliya qayb dadban 一 waa awood muhiim u ah xasiloonida geedi socodka, lebbiska gaaska, iyo wanaajinta dhalidda. Iyada oo loo marayo naqshadeeda dhaqdhaqaaqa socodka horumarsan, dheellitirka kulaylka, iyo ka kooban walxaha aadka u nadiifka ah, waxay hubisaa in maroodiste kastaa helo hab si sax ah loo xakameeyay oo lagama maarmaan u ah samaynta aaladda semiconductor-jiilka soo socda.
Adeegyada aan bixino
Dukaanka wax soo saarka Semixlab
