EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Qalabka la dabaqay ee AMAT quartz giraanta
Semixlab AMAT Quartz Rings waxay ku faantaa nadiifin aad u saraysa, yaraynta faddaraynta waxayna kordhinaysaa daacadnimada nidaamka. Khibrad u yeelo sinnaan heersare ah, meel dhigid, iyo isku mid ahaanshaha faafinta, taasoo horseedaysa xakamaynta habka aan la barbar dhigi karin iyo joogteynta. Tani waxay tarjumeysaa cillado yar, wax-soo-saar sare, iyo ugu dambeyntii, wareeg wax soo saar badan oo kharash-ool ah oo loogu talagalay dharkaaga.
Description
Semixlab wuxuu bixiyaa giraanta quartz ee saxda ah. Alaabtan waxaa inta badan loo isticmaalaa si loo hubiyo meelaynta xasiloon ee filimada tayada sare leh ee habka PECVD, iyada oo la kordhinayo waxtarka wax soo saarka ee qalabka iyo dhalidda maraqyada. Qaybinta balaasmaha waxaa lagu xaddiday saxnaanta joomatari (± 0.1mm), gaaska qulqulka falcelinta ayaa la hagaajiyay, iyo isku-duubnaanta filimka ayaa loo hagaajiyay σ≤1.5%. Habka xayeysiiska ee alaabada ayaa hoos u dhigtay heerka cilladda wafer 30%.
Faahfaahin Gaar ah:
Naaneysta: Giraanta Quartz, Side Wafer, Kitaab Quartz Ring, Giraanta Quartz, Giraanta Qolka Sare, Giraanta Dhigashada PECVD, Giraan Qaybinta Gaaska
Ujeeddo: Hubi meelaynta xasiloon ee filimada tayada sare leh ee habka PECVD, iyadoo la kordhinayo waxtarka wax soo saarka ee qalabka iyo wax-soo-saarka wafers.
Halbeegyada asaasiga ah: Waxaa si gaar ah loogu talinayaa SiN (silikon nitride) hababka dhigista, quartz nadiif ah oo sarreeya, iyo adeegyo daahan gaar ah ayaa la bixin karaa. Waxay u adkeysan kartaa heerkulka sare ee 300 ilaa 400 ℃ +, iska caabin nabaad-guurka balasmaha, oo leh daahirnimo quartz ≥99.99%, birta wasakhaysan wax ka yar 5ppm, dhexroor xumbo / ka mid ah ≤0.1mm, iyo tirada ≤3 per cubic sentimitir
Shaqooyinka iyo doorarka ugu muhiimsan:
●Qaybaha muhiimka ah ee qolka: Waxay ku yaalliin gudaha qolka habsocodka PECVD, waxay sameeyaan xuduud muhiim ah aagga falcelinta.
● heerkulka sare iyo caabbinta balaasmaha: Waxay ka samaysan tahay Quartz nadiif ah, waxay leedahay iska caabin heerkul sare oo heersare ah (heerkulka habka PECVD wuxuu caadi ahaan ku dhex jiraa inta u dhaxaysa 300°C ilaa 400°C+) iyo iska caabinta nabaad guurka balaasmaha.
●Karantiil/dahaadh koronto: Waxay ka ciyaartaa door muhiim ah dahaarka korantada gudaha qolka, hubinta jiilka xasilloon ee balaasmaha iyo habka isku mid ahaanshaha.
● Habraaca xidhida gaaska:In uu gacan ka geysto ilaalinta shaabadeynta jawiga gaasta ee habka gudaha qolka.
●Qeexida jawiga habka waferka: Joomatarigeeda iyo xaaladdeeda dusha sare waxay si toos ah u saameeyaan qaybinta socodka gaaska iyo balaasmaha ka sarreeya waferka, taas oo muhiim u ah isku-duubnaanta iyo tayada dhejinta filimada khafiifka ah.
●Dahaadhka dusha sare: Qaar ka mid ah giraanta quartz ee loo isticmaalo hababka gaarka ah (sida SiN) ayaa laga yaabaa in lagu dahaadho dahaar gaar ah (sida yttrium oxide Yttria) si loo sii yareeyo dhigista alaabta ama kor loogu qaado waxqabadka iyo nolosha adeegga ee hoos yimaada hababka gaarka ah.
Qalabka la dabaqay ee AMAT quartz giraanta xaaladaha codsiga
Adeegyada aan bixino
Dukaanka wax soo saarka Semixlab
