Lugta Insulator-ka Quartz 300mm

Qalabka Quartz Insulator Pedestal ee AMAT Quartz 300mm (Qaybta Lambarka 0200-14197) waa qayb quartz ah oo si sax ah loo farsameeyay, saafi ah oo heer sare ah oo loogu talagalay in loo isticmaalo qalabka habka semiconductor-ka ee 300mm, oo ay ku jiraan nidaamyada PVD, CVD, iyo plazma-ka.

Iyada oo ah walax muhiim ah oo qaab-dhismeed iyo shaqo ah oo ku jirta qolka, qaybtani waxay isku daraysaa taageerada farsamada, dahaarka korontada, iyo go'doominta habka hal xal oo waxqabad sare leh. Waxaa si gaar ah loogu sameeyay si loo daboolo shuruudaha adag ee soo saarista wafer-ka horumarsan, halkaas oo xasilloonida habka, xakamaynta wasakhowga, iyo isku hallaynta qalabka ay muhiim u yihiin.

Semixlab, waxaan ku soo saarnaa qaybaha saldhigga quartz annagoo adeegsanayna quartz saafi ah oo aad u sarreeya iyo teknoolojiyada mashiinka ee horumarsan si loo hubiyo saxnaanta cabbirka ee aadka u fiican, waxqabadka dielectric, iyo cimri dhererka muddada dheer ee jawiga adag ee plasma.

Maxaad u dooranaysaa Semicera Semiconductor?

Semixlab waxay isku daraysaa khibradda agabka, aqoonta habka semiconductor-ka, iyo wax soo saarka saxda ah si loo keeno qaybo quartz ah oo lagu kalsoonaan karo oo loogu talagalay warshadaha casriga ah.

Faa'iidooyinka Our:

● Xakamaynta walxaha quartz ee saafiga ah ee aadka u sarreeya

● Makiinadaha dulqaadka adag ee cabbirrada muhiimka ah

● Waxqabadka la xaqiijiyay ee codsiyada aadka u daran ee plasma-ka

● Xalalka ku habboon OEM ee loogu talagalay goobaha AMAT

● Taageero caalami ah oo deggan oo sahay iyo injineernimo ah

Codsiga Habka & Booska Qolka

Qalabka Quartz Insulator Pedestal waxaa ugu horreyn loo isticmaalaa hababka wax soo saarka semiconductor-ka hore, gaar ahaan deegaannada ku lug leh balaasmaha RF, xaaladaha ताप oo sarreeya, iyo habaynta faakuumka.

Booska Qolka

Qaybtan waxaa lagu rakibay qaybta hoose ee qolka hawsha, badanaa hoosteeda ama agagaarka shirka taageerada wafer-ka (tusaale ahaan, mashiinka korantada ama marxaladda kuleyliyaha).

Waxay ka shaqeysaa meel u dhow:

● Gobolka maaraynta wafer-ka

● Qalabka korontada ku shaqeeya (ESC) ama qaab-dhismeedka salka

● Aagagga balaasmaha ee ku shaqeeya RF-ka

Doorka Dhismaha Qalabka

Nidaamka qolka dhexdiisa, Quartz Insulator Pedestal wuxuu u adeegaa sidii is-dhexgal muhiim ah oo u dhexeeya qaybaha firfircoon ee korontada ku shaqeeya iyo qaab-dhismeedka farsamada dhulka ku dhisan.

Booskeedu wuxuu u sahlayaa inuu:

● Si koronto ah u kala sooc walxaha danab sare leh ama kuwa ku shaqeeya RF-ka

● Taageer hufnaanta farsamada ee marxaladda wafer-ka

● Ilaali jawi nidaamsan oo la xakameyn karo

Hawlaha Muhiimka ah & Faa'iidooyinka Waxqabadka

1) Dahaarka Korontada ee Deegaannada RF Plasma

Mid ka mid ah hawlaha ugu muhiimsan ee qaybtan waa in la bixiyo dahaadh xoog badan oo dielectric ah nidaamyada ka shaqeeya eexda RF iyo xaaladaha plasma.

● Waxay ka hortagtaa daadashada korontada iyo waddooyinka aan la qorshayn ee hadda socda

● Waxay yareysaa khatarta ah in la isku dhufto oo la isku dhejiyo dhiigga iyo xasillooni darrada balaasmaha

● Hubinta qaybinta goobaha RF ee joogtada ah

Natiijo: Soo celinta habka oo la hagaajiyay iyo badbaadada qalabka

2) Taageerada Farsamada & Xasiloonida Dhismaha

Qayb ka mid ah isu-imaatinka saldhigga, qaybtu waxay bixisaa:

● Taageero deggan oo loogu talagalay nidaamyada maaraynta wafer-ka

● Saxnaan cabbir sare leh si loo ilaaliyo isku-xidhka

● Iska caabbinta isbeddelka wareegga kuleylka

Natiijo: Saxnaanta booska wafer-ka oo la xoojiyay iyo midnimada filimka

3) Iswaafajinta Balaasmaha iyo Xakamaynta Wasakhowga

Waxaa laga sameeyay quartz saafi ah oo aad u sarreeya, qaybtani waxay bixisaa:

● Heerarka wasakhda birta oo hooseeya

● Iska caabin aad u fiican oo ku wajahan nabaad-guurka balaasmaha

● Soo saarista walxaha ugu yar

Natiijo: Khatarta wasakhowga oo yaraatay iyo wax soo saarka wafer-ka oo la hagaajiyay

4) Waxqabadka Go'doominta Kulaylka

Quartz wuxuu si dabiici ah u muujiyaa dabacsanaan kuleyl oo hooseeya, taasoo u oggolaanaysa saldhigga inuu:

● Kala sooc wareejinta kulaylka inta u dhaxaysa kuleyliyaha/ESC iyo qaab-dhismeedka qolka

● Ilaali astaamaha wafer-ka ee deggan

● Yaree cadaadiska kulaylka ee nidaamka dhexdiisa

Natiijo: Xakamaynta habka oo wanaagsan iyo cimri dhererka qaybaha