EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Qalabka Dahaarka leh ee SiC
Qalabka loo yaqaan 'SiC Coated Set Disc' ee ay si taxadar leh u diyaarisay Semixlab waxaa loogu talagalay in lagu buuxiyo shuruudaha adag ee macaamiisha semiconductor ee iska caabinta heerkulka sare, iska caabinta daxalka, iyo qaybaha wasakhda hoose ee hababka heerkulka sare ee epitaxial sida MOCVD. Alaabtani waxay ka samaysan tahay silikoon carbide (SiC) oo nadiif ah oo nadiif ah iyo qalab tayo sare leh oo graphite ah, kuwaas oo leh xasillooni kuleyl oo heer sare ah iyo qallafsanaan kiimikaad, waxayna si weyn u wanaajin kartaa xasilloonida habka iyo joogtaynta lakabyada filimka epitaxial.
Description
Halabuurka Saxanka Dahaarka leh ee SiC
Semixlab SiC Coated Set Disc waa qaade wafer ah oo loogu talagalay qalabka Aixtron MOCVD. Waxay inta badan ka kooban tahay labada qaybood ee soo socda:
1. Walxaha substrate: garaafyada isostatic-nadiifinta sare
Astaamaha agabka: kulaylka kuleylka aadka u sarreeya (ilaa 180 W/m·K), xasillooni xoog leh oo heerkul sare ah, ma fududa in la qaabeeyo ama dillaaco.
Faa'iidooyinka: Waxay siisaa labbiska kulaylka wanaagsan iyo xoogga qaab dhismeedka wafers, taas oo saldhig muhiim ah u ah hubinta joogtaynta habka koritaanka.
2. Dahaarka dusha sare: Dhigista CVD ee nadiifinta sare ee SiC (silikon carbide)
Habka dhigista: CVD- Plasma-kobciyay ama habka CVD kulaylka ayaa la isticmaalaa, dhumucda dahaarkana waxaa lagu xakameynayaa inta u dhaxaysa 50-200μm.
Sharaxaad muujinta: Lakabka dusha sare waa cufan oo aan dalool lahayn, oo leh awood farsamo oo adag Mohs oo ku dhow 9, aad ayuuna ugu adkaystaa daxalka iyo saamaynta heerkulka sare.
Maxaad u doorataa Semixlab?
Haddii aad raadinayso:
● Qalabka Dahaarka leh ee SiC-da ee nidaamka Aixtron ee waxqabadka sare leh.
● Xalalka sideyaasha ee taageera cabbirada gaarka ah, adeegyada dib u habeynta iyo jawiga daxalka heerkulkiisu sarreeyo.
● Qaybaha tayada sare leh ee hagaajiya wax-soo-saarka MOCVD oo kordhiya wareegyada xasilloonida habka.
Fadlan nala soo xidhiidh hadda si aad u hesho xigashooyinkii ugu dambeeyay iyo tilmaamo farsamo. Waxaan bixinaa gaarsiinta caalamiga ah iyo adeegyada taageerada farsamada si ay kaaga caawiyaan inaad si dhakhso leh u geyso khadkaaga wax soo saarka.
sooc
Falanqaynta guryaha muhiimka ah
1. Iska caabbinta heerkulka sare
Xadka sare ee heerkulka hawlgalka wuxuu gaari karaa 1600°C+. Qaab dhismeedka dahaarka ma dillaaci doono ama ma dili doono culeyska kulaylka awgeed wuxuuna u adkeysan karaa jawiga falcelinta MOCVD ee muddada-dheer.
2. Kulaylka kulaylka iyo isku midka ah kulaylka
Isku darka substrate + daahan wuxuu ka dhigayaa kuleylku mid aad u hufan oo ka fogaanaya cilladaha koritaanka wafer ee uu keeno kulayl aan sinnayn. Joogteynta kuleylka kuleylka waxay hubisaa qaybinta isku midka ah ee dhumucda dhigaalka iyo halabuurka, waxayna wanaajisaa dhalidda.
3. caabbinta daxalka kiimikada
Dahaarka ayaa si wax ku ool ah uga hortagi kara gaasaska habka MOCVD ee aadka u wasakhaysan sida hydrogen, ammonia, TMGa, iyo TMAl. Maaddada lafteedu waa qaab-dhismeedka β-SiC aad u cufan oo ku dhawaad wax falcelin ah oo dhinaca ah kuma dhacaan gaaska falcelinta.
4. Xakamaynta walxaha dusha sare
Dusha sare ee dahaarka ayaa leh qallafsanaan hooseeya (Ra<0.5μm) mana fududa in la isku dhejiyo walxaha ama la diiriyo. Iska yaree wasakhaynta walxaha yaryar ee habka, gaar ahaan ku habboon hababka waferka cabbirka weyn ee 6 inji iyo wixii ka sareeya.
Codsiyada
Xaaladaha codsiga alaabta iyo hawlahooda
1. Waxaa si gaar ah loogu naqdiyay qaab-dhismeedka Aixtron Planetary Reactor
Lagu dabaqi karo qolalka falcelinta ee qaab-dhismeedka meereyaasha la rogi karo sida AIX 200 iyo AIX 2800G4.
Qaab dhismeedka saxanka si sax ah ayaa loogu talagalay in lagu hubiyo isku dheelitirnaanta kulaylka iyo hawo-mareenka wafer inta lagu jiro wareegga.
2. Door muhiim ah oo ka mid ah kombuyuutarrada unugyada epitaxy
Lagu dabaqi karo MOCVD kobaca epitaxial ee agabka isku dhafka ah ee III-V, oo ay ku jiraan laakiin aan ku xaddidnayn:
● GaN/AlGaN: loogu talagalay LED-yada, laysarka, qalabka korontada.
● AlN, InGaN: loogu talagalay LED-yada UV iyo aaladaha soo noqnoqda.
● GaAs/InP epitaxy: oo loogu talagalay aaladaha elektiroonigga ah ee xawaaraha sare leh iyo jajabyada isgaarsiinta laysarka.
Silsiladda warshadaha ee semiconductor chip epitaxy:
Dukaanka wax soo saarka Semixlab
Semixlab SiC Coated Set dukaamada
