Suuxiyaha UV-ga ee TaC ee Qoto dheer leh

Susceptor-ka TaC ee Qoto dheer ee UV-ga ah ee lagu dahaadhay waa qayb muhiim ah oo ka mid ah nidaamyada kaydinta uumiga kiimikada birta-dabiiciga ah (MOCVD) ee loo isticmaalo soo saarista LED-yada qoto dheer ee ultraviolet (UV). Susceptor-kan waxaa si gaar ah loogu talagalay inuu ku shaqeeyo xaaladaha geedi socodka ee aadka u daran, isagoo si toos ah u taageeraya kululaynta wafer-ka iyo bixinta jawiga kulaylka iyo kiimikada ee lagama maarmaanka u ah koritaanka epitaxial ee tayada sare leh ee lakabka aluminium nitride (AlN) iyo aluminium gallium nitride (AlGaN) ee aluminiumka ah ee ku jira aluminiumka.

Habka qoto dheer ee UV LED MOCVD, koritaanka epitaxial wuxuu caadi ahaan ka dhacaa heerkul ka sarreeya kuwa loo isticmaalo LED-yada dhaqameed ee ku salaysan gallium nitride, oo ay weheliso heerarka socodka ammonia ee aadka u sarreeya iyo jawi hodan ku ah nitrogen. Xaaladahan oo kale, walxaha suuxinta dhaqameed waxay la kulmi karaan burburka dusha sare, sii deynta kaarboonka, iyo xasillooni darrada kiimikada, taasoo horseedaysa tayada epitaxial oo yaraata iyo hoos u dhaca waxqabadka qalabka. Dahaarka tantalum carbide (TaC) ee dusha sare ee suuxinta wuxuu muujiyaa xasillooni kuleyl iyo kiimiko oo heer sare ah, taasoo suurtogalinaysa hawlgal la isku halleyn karo heerkul sare iyo ilaalinta astaamaha dusha sare ee joogtada ah inta lagu jiro wareegga wax soo saarka.

Shaqada ugu weyn ee Suscepter-ka TaC ee Dahaaran ee UV-ga ee Qoto dheer waa inuu bixiyo kuleyl wafer ah oo isku mid ah oo la soo celin karo inta lagu jiro habka koritaanka MOCVD. Isku-darka substrate-ka graphite ee tayada sare leh iyo dahaarka tantalum carbide ee cufan wuxuu hubiyaa wareejinta kulaylka oo hufan iyo sifooyinka shucaaca ee deggan, taasoo suurtogalinaysa xakamaynta saxda ah ee heerkulka wafer-ka. Xasilloonidani waa mid muhiim u ah xakamaynta saxda ah ee halabuurka aluminium ee koritaanka epitaxial-ka AlGaN, taasoo si toos ah u saamaynaysa isku-midnimada hirarka qiiqa iyo hufnaanta quantum-ka gudaha ee aaladaha UV-ga qoto dheer.

Sidoo kale muhiimad ayaa leh doorka dahaarka tantalum carbide ee xakamaynta wasakhowga. Daweynta kaarboonku waa caqabad la aqoonsan yahay oo ku jirta koritaanka epitaxial-ka qoto dheer ee LED-ka UV, maadaama xitaa xaddi raad ah oo kaarboon asalka ah ay si weyn u saameyn karto tayada agabka iyo cimriga qalabka. Dahaarka tantalum carbide wuxuu u dhaqmaa sidii caqabad faafin oo adag, isagoo si wax ku ool ah uga soocaya xudunta garaafka deegaanka habka iyo yaraynta faafinta kaarboonka ee xaaladaha heerkulka sare leh ee MOCVD. Daawaddeeda kiimikada ee sare waxay sidoo kale yareysaa khatarta wasakhowga birta, taasoo gacan ka geysaneysa cufnaanta cilladaha oo hooseysa iyo hagaajinta isku halaynta qalabka.

Susceptor-ka TaC ee Qoto dheer ee UV-ga lagu dahaadhay ayaa sidoo kale muujinaya iska caabin heer sare ah oo ka dhan ah deegaanka kiimikada ee adag ee u gaarka ah hababka qoto dheer ee UV MOCVD. Marka la barbardhigo susceptors-ka silicon-ka ee dhaqameed ee lagu dahaadhay carbide-ka, tantalum carbide wuxuu muujiyaa xasillooni weyn jawiga gaaska isku dhafan ee ammonia iyo hydrogen-nitrogen-ka oo qulqulaya sare, sidaas darteed wuxuu hoos u dhigayaa burburka dahaarka iyo kordhinta cimriga qaybaha. Waartani waxay u tarjumeysaa muddooyin dayactir oo dheer, waqti badan oo qalabka la shaqeeyo, iyo kharashyo wax soo saar oo hooseeya.

Suscepter-ka TaC ee Qoto dheer ee UV-ga lagu dahaadhay waxaa loogu talagalay inuu la jaanqaado goobaha caadiga ah ee MOCVD, isagoo hubinaya waxqabadka habka joogtada ah ee dhammaan wafer-yada iyo dufcadaha, taas oo muhiim u ah kor u qaadista tignoolajiyada UV-ga qoto dheer ilaa wax soo saar ballaaran. Suscepter kasta waxaa lagu soo saaraa habab la xakameeyey si loo hubiyo isku-midnimada dahaarka, isku-dhejinta xooggan, iyo waxqabadka kulaylka ee la soo celin karo, taasoo ka tarjumaysa ballanqaadka Semixlab ee tayada, isku halaynta, iyo naqshadeynta ku salaysan codsiga.

Iyada oo ah shirkad hormuud u ah tignoolajiyada habka epitaxial-ka semiconductor-ka Shiinaha, Semeixab waxay ka go'an tahay inay siiso warshadaha semiconductor-ka teknoolojiyadaha horumarsan iyo xalalka wax soo saarka ee TaC Coated Deep UV LED Suscepter ee loo habeeyay. Waxaan ku waafajin karnaa shaqooyinka iyo moodooyinka u dhigma ee alaabtayada baahiyahaaga gaarka ah ee badeecadaha, annagoo hubinayna habsami u socodka wax soo saarka shirkaddaada. Semeixab si daacad ah ayay u rajeyneysaa inay noqoto lammaanahaaga muddada dheer ee Shiinaha.