EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Giraanta Garaafka Dahaarka leh ee TaC
Semixlab's Porous TaC Coated Graphite Rings waxaa loogu talagalay habsocodka habsocodka semiconductor aadka u daran sida epitaxy, fidinta, iyo CVD/PECVD. Muujinaya saldhigga garaafiga daloola ee khafiifka ah oo leh daahan tantalum carbide nadiif ah oo aad u sarreeya, waxay bixiyaan iska caabin heer sare ah heerkulka sare, gaaska daxalka, iyo nabaad guurka balaasmaha. Siddooyinku waxay wanaajiyaan isku-midnimada nidaamka, waxay kordhiyaan cimriga qaybaha, waxayna xaqiijiyaan wax-soo-saarka sare ee wax-soo-saarka semiconductor-ka sare.
Description
Wareegga Garaafiga Dahaarka leh ee TaC ee ka yimaadda Semixlab ayaa ah qaybo lagama maarmaan u ah deegaan-wax-u-baahiyaha-sare ee loo baahan yahay, taasoo bixisa waarta, xasilloonida, iyo hagaajinta habka. Waxay yihiin doorashada ugu habboon ee SiC epitaxy, GaN MOCVD, fidinta, iyo hababka CVD halkaasoo isku halaynta iyo waxqabadka ay muhiim u yihiin.
Qalabka & Guryaha
● Saldhigga garaafiga: Garaafka istatic-ga cufnaanta sare leh oo leh qaab-dhismeed dalool ah oo loogu talagalay tirada kulaylka oo yaraatay iyo wareejinta kulaylka oo la xoojiyey.
● Tantalum Carbide Coating: Tantalum carbide barta sare ee dhalaalaysa (3880°C) waxay hubisaa adkaanta xad dhaafka ah, firfircoonida kiimikaad, iyo adkeysiga muddada dheer ee gaasta habsocodka adag.
● Naqshadaynta Dabada leh: Waxay wanaajisaa qaybinta qulqulka gaaska, waxay yaraynaysaa walbahaarka deegaanka inta lagu jiro baaskiil kuleyleedka degdega ah, waxayna yaraynaysaa wasakhowga walxaha.
Adeegyada Semixlab
● Naqshadaynta gaarka ah & cabbirrada lagu habeeyey qalabka epitaxy-ga gaarka ah ama foornada.
● Qalab nadiif ah oo sarreeya si loo buuxiyo shuruudaha wasakheynta semiconductor adag.
● Xakamaynta tayada adag ee hubinta dhumucda dahaarka, adhesion, iyo tayaynta porosity.
● Taageerada Farsamo ee Caalamiga ah ee sariiraha semiconductor iyo soosaarayaasha qalabka.
La xidhiidh Semixlab maanta si aad u codsato muunado, tilmaamo farsamo, ama xalal la habeeyey.
Codsiyada
Codsiyada Muhiimka ah ee Hababka Semiconductor
1. Nidaamyada Epitaxy (SiC, GaN, iyo Si)
Geedi socodka kobaca epitaxial sida MOCVD, CVD, iyo SiC epitaxy, giraanta garaafyada dahaarka leh ee TaC ee dahaaran ayaa door muhiim ah ka ciyaara shirarka susceptor iyo qaababka xakamaynta socodka gaaska. Naqshaddooda daloola waxay caawisaa nidaaminta qaybinta gaaska side, ka hortagga qaska iyo hubinta gaarsiinta isku midka ah ee dusha sare ee waferka. Tani waxay keenaysaa isku-duubnida dhumucda lakabka oo hagaagtay, cillado yar, iyo wax-soo-saarka aaladaha oo sarreeya. Dahaarka TaC wuxuu ka ilaaliyaa substrate-ka garaafyada horudhacyada gardarrada ah sida HCl, NH₃, silane, iyo hydrocarbons, kordhinta nolosha adeegga ee hoos yimaada xaaladaha heerkulka sare ee joogtada ah (> 1500 ° C).
2. Faafinta iyo Foornooyinka Annealing
Inta lagu jiro faafinta dopant iyo heerkulka sare ee annealing ka dib tallaalka ion, giraangiraha graphite waxa loo isticmaalaa sidii taageero iyo walxaha dheelitirka kulaylka gudaha hababka foornada. Qaab dhismeedka daloolku waxa uu hoos u dhigaa cufka kulaylka, isaga oo awood u siinaya kor u kac degdeg ah iyo wareegyo qaboojin iyada oo hoos u dhigaysa cadaadiska kulaylka ee wafers. Dahaarka TaC wuxuu ka hortagayaa oksaydhka iyo xaalufka kiimikaad, hubinta in giraanta ay ilaaliso sharafta qaabdhismeedka wareegyada kulaylka ee soo noqnoqda. Marka la dejiyo bey'ada wafer-ka, siddooyinkani waxay caawinayaan in la gaaro muuqaallo is-daba-marineed oo joogto ah iyo in la yareeyo warqadda wafer-ka.
3. PECVD iyo LPCVD Chambers
Gudaha PECVD iyo LPCVD reactors, giraanta garaafyada dahaarka leh ee TaC ee dahaaran waxay u dhaqmaan sidii qolal safeeya, qaybaha gaashaanka, ama giraanta taageerada. Deegaannadani waxay inta badan soo bandhigaan walxaha bamamka balaasmaha iyo gaasaska aadka u wasakhaysan sida noocyada fluorine- iyo koloriin-ku-salaysan. Dahaarka TaC wuxuu muujinayaa iska caabin heer sare ah oo loogu talagalay etching iyo nabaad guurka balaasmaha, si weyn u yareynaya daadinta walxaha iyo khatarta wasakheynta. Intaa waxaa dheer, naqshadeynta daloolku waxay ka caawisaa inay si siman u kala firdhiso kulaylka, hubinta heerarka meelaynta filimka iyo hagaajinta habka soo noqnoqda.
4. Deegaannada cuncunka iyo Dhigista
Marka lagu jiro geeddi-socod-dhigid-engegan iyo filim-dhuuban, giraangiraha garaafyada ee dahaaran ee TaC-da dahaaran waxay u adeegaan caqabadaha ilaalinta iyo canaasiirta xasilinta kuwaas oo yareeya dhigaalka dhabarka iyo nabaad-guurka balaasmadu keentay ee qaybaha fal-celinta muhiimka ah. Adkaanshaha dahaarka iyo qallafsanaanta kiimikaad ayaa ka hortagaya falcelinta aan loo baahnayn ee gaaska habka, yaraynta ilaha faddaraynta. Codsigoodu waxa uu muhiim u yahay ilaalinta nadaafadda qolka, wanaajinta wakhtiga, iyo ka ilaalinta waferrada qiimaha sare leh ee wasakhaysan-dilaaya walxaha.
Adeegyada aan bixino
Dukaanka wax soo saarka Semixlab
