Qalabka Daboolaadda Isha 300mm

Dareeraha Ceramic-ka ee AMAT 300mm ee Adabtarada Isha waa qayb muhiim ah oo ka mid ah qalabka farsamaynta semiconductor-ka ee horumarsan ee ay soo saarto Semixlab. Si gaar ah loogu talagalay goobaha wafer-ka ee 300mm, dareerahan dhoobada ah wuxuu u adeegaa sidii is-dhexgal aad loogu kalsoonaan karo oo u dhexeeya nidaamyada keenista korontada RF iyo qaybaha isha ee qolalka hawsha.

Nidaamyada sida kaydinta uumiga kiimikada ee balaasmaha lagu xoojiyay (PECVD), kaydinta uumiga jirka (PVD), iyo goobaha wax lagu qoro, qaybtani waxay door muhiim ah ka ciyaartaa ilaalinta go'doominta korontada, xasilloonida balaasmaha, iyo hufnaanta farsamada. Iyada oo qayb aan la isticmaali karin haddana muhiim u ah waxqabadka, waxay si toos ah u saamaysaa isku dheelitirka habka, wax soo saarka, iyo waqtiga shaqada qalabka.

Xulashada Waxyaabaha

Alumina saafi ah oo heer sare ah (Al₂O₃) ayaa loo xushay inay tahay walxaha substrate-ka sababtoo ah waxqabadkeeda sare ee la xaqiijiyay ee jawiga semiconductor-ka ee plasma-ka ku badan. Dhoobada Alumina waxay bixiyaan dheelitirnaan ugu wanaagsan oo ah sifooyinka korantada, kulaylka, iyo kiimikada, taasoo hubinaysa hawlgal xasilloon oo muddo dheer ah.

Faa'iidooyinka muhiimka ah ee agabka waxaa ka mid ah:

● Xoog sare oo dielectric ah: Waxay hubisaa dahaadh wax ku ool ah oo hoos yimaada goobaha RF-ga ee soo noqnoqda sare leh, taasoo ka hortagaysa daadashada iyo daadinta qaansada.

● Iska caabin aad u fiican oo balaasmaha ah: Waxay ilaalisaa hufnaanta qaab-dhismeedka iyadoo la adeegsanayo bamgareynta ion iyo soo-gaadhista gaasaska falcelinta leh.

● Khatar yar oo wasakhaysan: Alumina saafi ah oo sareysa ayaa yareysa soo saarista walxaha, iyadoo buuxinaysa heerarka adag ee qolka nadiifinta.

● Xasiloonida kulaylka: Waxay u adkaysataa wareegga kulaylka ee soo noqnoqda iyada oo aan lahayn qaab-dhismeed ama hoos u dhac waxqabad.

Marka la barbar dhigo agabka kale ee dhoobada ah sida aluminium nitride (AlN) ama silicon carbide (SiC), aluminium oxide (Al₂O₃) waa xal kharash-ool ah oo warshadeed oo si ballaaran loogu isticmaalo codsiyada sida dahaarka, giraanta, iyo bushings-ka ee aaladaha semiconductor OEM.

Qaab-dhismeedka Badeecada iyo Naqshadeynta Shaqada

Qalabka dahaarka dhoobada ee AMAT 0200-07442 waxaa loogu talagalay inuu noqdo qalab wax lagu beddelo, isagoo isku daraya hawlaha qaabdhismeedka iyo korontada hal qayb oo sax ah.

Shaqadeeda asaasiga ah waxaa ka mid ah:

Go'doominta Korontada (Hawsha Aasaasiga ah)

Dahaarkani wuxuu ka soocaa qaybaha korontada RF-ga ee danab sare leh qaab-dhismeedka qolka dhulka hoostiisa ah, isagoo hubinaya hawlgalka badbaadada leh ee nidaamka balaasmaha.

Xasilloonida Deegaanka ee Plasma

Iyada oo la ilaalinayo is-dhexgalka dielectric-ga ee joogtada ah, qaybtani waxay gacan ka geysataa abuurista qaybinta goobta korantada ee isku midka ah, taas oo muhiim u ah helitaanka cufnaanta balaasmaha ee joogtada ah iyo isku-midnimada filimka.

Taageerada Farsamada iyo Iswaafajinta

Adaptarka wuxuu bixiyaa taageero qaab-dhismeed oo loogu talagalay isku-darka elektroodka sare ama madaxa buufinta, isagoo hubinaya in dulqaadka muhiimka ah - sida fidsanaanta, isku-dhafka, iyo saxnaanta isku-xirnaanta - la ilaaliyo inta lagu jiro habaynta wafer-ka 300mm.

Maareynta Cadaadiska Kulaylka

Qaybtani waxay u qaabaysan tahay inay u adkaysato heerkulka habka iyo walbahaarka farsamada, waxayna ka caawisaa yareynta ururinta walbahaarka, iyadoo hubinaysa isku halaynta muddada dheer.

Naqshaddan shaqo badan leh waxay ka tarjumaysaa isbeddel ballaaran oo ku yimid qaybta qalabka semiconductor-ka ee ku wajahan isku-darka hawlaha korontada, farsamada, iyo kulaylka ee qaybaha dhoobada ee horumarsan.